潔淨棚日常維護還需要注意哪些細節？
在潔淨棚的日常維護中，除了基礎的組件保養和（hé）係統管理（lǐ）外，還有許多容易被忽視的細節，這些細節對維持潔淨度、設備穩定性及人員操作規範至關重要。以下從環境控（kòng）製、人員（yuán）操作、特殊場景等維度補充關鍵（jiàn）細節：
氣流組織優化
定期檢（jiǎn）查高效過濾器出風口的勻流膜（擴散板）是否積塵或堵塞，用無塵布蘸酒精擦（cā）拭表麵，避免氣流不均導致局部潔淨度下降。
嚴禁在潔淨棚內堆放雜（zá）物（wù）（如工具、耗材），保持工作區下方離地麵至少 50cm 的空（kōng）間（jiān），防止（zhǐ）阻擋回（huí）風口氣流。
溫濕度（dù）精細（xì）控製
注意加濕器水箱的清潔（每周用（yòng） 3% 過氧化氫溶液浸（jìn）泡 30 分鍾（zhōng），防止微生物滋生），若為電極式加濕（shī）器，每季（jì）度（dù）更換電極棒以避免結垢影響加濕效率。
當溫（wēn）濕度波動超過設定值（如溫度 ±1℃、濕（shī）度 ±3% RH）時（shí），需檢查空調機組表冷（lěng）器是否結垢、加濕器噴口是（shì）否堵塞。
靜電控製細節
每日用靜電測（cè）試儀（yí）檢測（cè）工作台麵、地麵的靜（jìng）電（diàn）值（目標值≤10^9Ω），若超標（biāo）需檢查接地線是否（fǒu）鬆動（接地電阻應≤1Ω），或更換防靜電台墊。
禁止在潔淨棚內使（shǐ）用化纖材質的物品（如抹布、文件袋），所有（yǒu）工具需選用防靜（jìng）電版本（běn）（如防（fáng）靜電鑷子、螺絲刀）。
進出流程細化
風淋室使用時（shí），需確保噴嘴出風口風速（sù）≥25m/s（可定期用風速儀檢（jiǎn）測），人員在風淋室內（nèi）應轉動身體 360°，吹淋時間不（bú）足時嚴禁強行開門。
傳遞（dì）窗兩側（cè）門（mén）需互鎖（若為手（shǒu）動門，需張貼 “禁止同時（shí）開啟” 標識），傳遞物品時需先關閉外側門，經紫外燈照射（shè） 30 分鍾（zhōng）後（hòu）（如設定）再開啟內側門。
作業行為管控
操作人員在潔淨棚（péng）內動作需輕柔，避免快速走動或揮手（shǒu）（實驗數據表明，快速動作可使塵埃粒子數瞬間增加 30%），必（bì）要時使用無塵簾隔（gé）離操作區。
禁止在潔淨棚內飲（yǐn）水、飲（yǐn）食或使（shǐ）用化妝品，防止微塵與微生（shēng）物汙染，臨時離開後重新進入需再次更衣、風淋。
FFU（風機過濾單元）維護
每月通過 FFU 控（kòng）製麵（miàn）板查看風機轉速是否穩定（允許 ±5% 波動），若轉速異常降低，可能是過濾器（qì）阻力過（guò）大或電機軸承（chéng）磨損，需（xū）及時排查。
對於吊頂式 FFU，每季度檢查吊裝螺栓是（shì）否鬆動（尤其在頻繁啟停後），防止設備墜落風險，同（tóng）時清理（lǐ） FFU 頂部與天花板之間的積塵。
高效過濾（lǜ）器密封細節
更換高效過濾（lǜ）器後（hòu），需用熒光檢漏儀檢測邊框密封膠是否有漏點（在暗環境下觀察，漏光處（chù）需補塗密封膠），或用氣（qì）溶膠（jiāo）發生器配合粒子計數器掃描邊緣，確保泄漏（lòu）率≤0.01%。
地（dì）漏與排水係統
潔淨棚（péng）內若（ruò）設（shè）有地漏（lòu），需每日檢查水封是否有效（水封高度≥50mm），每周倒（dǎo）入消毒水（如次氯酸鈉溶液）防止異味與微生物滋生，蓋板需保持密封狀態。
監測設備（bèi）校準（zhǔn）與擺（bǎi）放
塵埃粒子計數器的采樣（yàng）口需固定在工作區高度（距（jù）地麵（miàn） 0.8-1.2m），避免貼近牆麵或設備，采樣時保持采樣（yàng）管垂直（zhí），防止氣流幹擾數據。
所有監測儀（yí）器（如壓差表、溫濕度計）需貼有校準標簽，校準周期不超過（guò） 1 年，若發（fā）現數據異常（如壓（yā）差表指針抖動），需立即用標準表（biǎo）比對。
數據記（jì）錄與趨勢分析
維護台賬需記錄每日 3 次（早（zǎo）、中、晚（wǎn））的關鍵（jiàn）參數（如風速、壓差、粒子數），並用折（shé）線圖繪製（zhì）趨勢，若連續 3 天數據呈上升趨勢（如粒子數增加 20%），需提前安排過濾器檢查。
特別注意節假日或長（zhǎng）期停機後的重啟數據，開機後需運行 30 分鍾以上再檢測潔淨度，避免初始氣流不穩定導致誤判。
突發（fā）汙染應對
若發生（shēng）液體（tǐ）泄漏（如試劑（jì）、溶劑），需立即（jí）用無塵吸附棉覆蓋吸附，再用 75% 酒精或專用消毒劑（如季銨鹽類）擦拭地麵及周邊區域，汙染麵積超過 1㎡時需記錄並追蹤後續潔淨度變化。
發現微（wēi）生物超標（如浮遊（yóu）菌（jun1）＞100CFU/m³），需（xū）使用汽化過（guò）氧化氫發生器進行空間（jiān）滅（miè）菌（濃度≥600ppm，作（zuò）用時間≥2 小（xiǎo）時），滅（miè）菌後需通風（fēng） 4 小時（shí）以上再（zài）進入。
停機與重啟（qǐ）管理
短期停機（jī）（＜24 小時）時，風機需保持低速運行（維持微正壓），避免外界灰塵倒灌；長期停機（＞72 小時）前，需徹底清潔內部並關閉所有（yǒu）風門，重啟時需先更換初、中效過濾器。
醫藥行業：潔淨棚內使用（yòng）的消毒劑需交替使用（如酒精與碘伏每月輪換），避免微生物產生耐藥性；稱量間需額外檢查層流罩的垂直風速（應維持 0.36-0.54m/s）。
半導體（tǐ）行業：禁止使用含矽（Si）的清潔劑，防止矽氧（yǎng）烷揮發汙染晶圓；維護工具需經離子風槍吹淋後再帶入，避免靜電吸附微塵。
與過濾器供應商簽訂年度維護協議，要求提供過濾器阻力 - 使用時間的預測模型，提前備（bèi）貨（huò）易損件（如初效過濾器季度用量的 1.5 倍）。
每年邀請第三方檢測機構進行動態潔淨度認證（如 ISO 14644-1 檢測），檢測報（bào）告需歸檔保存，作為合規性審核依據。
通過關注上述細節，可將潔淨棚（péng）的維護從 “被動維修” 轉為 “主動預防”，尤其（qí）在半導（dǎo）體、醫藥等高要求領域，細節管理直接影響產品良率（lǜ）與合規性。建議製定《潔淨棚維護 checklist》，將細節要點轉化為可執行的檢查項，確保維護工作無遺漏。
