保定hepa高（gāo）效（xiào）過濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝（zhuāng）初（chū）效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末端（duān）的高效H14，但是對於（yú）高效過濾器的一些特（tè）性還是不太了（le）解的！

比如（rú）效率為（wéi）針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾（lǜ）器,這句話的詳細意思其實並沒（méi）有多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方法（fǎ）介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一（yī）些筆記，針對高效過濾器的一些詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效（xiào）率說起（qǐ）

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源（yuán）於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標（biāo）準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的（de）整體（tǐ）效率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大（dà）於99.95%的就可以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可（kě）以（yǐ）看到（dào）如下信息:EN1882對於（yú）局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮（lǜ）之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質（zhì）量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅（jǐn）是針（zhēn）對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就（jiù）是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是（shì）一（yī）個範圍內的氣溶膠群（qún）體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們（men）其實它們的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很（hěn）大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅（jǐn）是類似，不能完全等（děng）同。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是需要對某一種濾料,比（bǐ）如某一種（zhǒng）玻璃纖維做實驗室測試（shì）的。需要至少做（zuò）5次（cì）重複試驗（yàn）。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的（de）統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠（jiāo）粒徑不可（kě）能保證為（wéi）唯一粒徑（jìng）粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散（sàn）。需要注意的是（shì）這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計（jì）算結果和粒徑（jìng）沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可（kě）以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某（mǒu）一個粒徑的而是針對一（yī）個區間的。這個也（yě）就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個（gè）區間範圍內的（de）所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總（zǒng）數。這裏（lǐ）所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中（zhōng）值CMD應該正好等（děng）於MPPS[理（lǐ）想化（huà）],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠發（fā）生器可以分（fèn）為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有（yǒu）單分散相粒徑（jìng）發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生（shēng）器 單分散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝結式氣溶膠（jiāo）發生器 準單（dān）分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定（dìng）

從美（měi）國（guó）的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種（zhǒng）和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵（miàn）四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一（yī）個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全（quán）部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不（bú）計量粒（lì）子（zǐ）分徑的。直（zhí）接把所有的粒子數量加在一（yī）起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但（dàn）是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑（jìng）分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不（bú）是這麽回事了。因為（wéi）標（biāo）準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要（yào）注意的是在上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者部分粒子數量即（jí）可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度（dù）問題。大家知道的（de）一（yī）般是測量（liàng）分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際的結果是大（dà）部分廠家或者測試方最終的計數結果（guǒ）0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範（fàn）也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之（zhī）間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上（shàng）任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到（dào）實際的光學粒子分（fèn）析儀,應該可以在其（qí）中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際（jì）的粒子分析儀來。實（shí）際的工程結果是（shì）選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣（yàng）子,因此采用（yòng）第二種分段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多（duō）分散粒子測試時候（hòu）的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能（néng）測,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此（cǐ）實際的接（jiē）收粒（lì）子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線（xiàn）找出來的,而不是（shì）實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相的粒子發生（shēng）器來測試（shì）。因此其實找到（dào）的不是（shì）單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加（jiā）說（shuō）明了是粒子分析隻能（néng）測試出某一段粒徑之間而絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對（duì）於H13和H14,IEST要求對（duì）於其（qí）測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是（shì）並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因（yīn）此（cǐ）其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求現場的（de）測試質量濃度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經（jīng）有說（shuō）明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對（duì）測試結果的分析

由於現場測試的（de）隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實（shí）際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的（de）結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中提（tí）到了統（tǒng）計學（xué）相關（guān）知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信區間/標準差/幾（jǐ）何標準差