本溪hepa高（gāo）效過濾器

其實很（hěn）多人（rén）對於高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表（biǎo）麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末（mò）端的高效（xiào）H14，但是對（duì）於高效過濾器的一些特性還是不太了解（jiě）的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於（yú）99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾（lǜ）器,這句（jù）話的詳（xiáng）細意思其實並（bìng）沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的（de）測試粒子的（de）尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可（kě）以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最（zuì）早的（de）HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整（zhěng）體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從（cóng）圖中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於局（jú）部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩（liǎng）張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所有的氣溶膠（jiāo）粒徑分（fèn）布當中50%的質（zhì）量大（dà）於這個值,50%的（de）質量小於（yú）這個值（zhí）.

因此不（bú）要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量（liàng）中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散（sàn）相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸（cùn）中徑（jìng）,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占（zhàn）有的數量權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大（dà）致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類（lèi）劃入高效係列,不同於（yú）以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一（yī）種濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試的。需要至少做5次重（chóng）複試驗。每次試（shì）驗均要（yào）發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做出（chū）來最低（dī）點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器（qì）或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散。需要注意的（de）是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也（yě）就是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時（shí）候不是針對某（mǒu）一個粒徑的（de）而是（shì）針對一個區間的。這個也就是為什麽（me）MPPS在實際現場測試（shì）的時候（hòu）要求測試一個區間範圍（wéi）內的所（suǒ）有粒子數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過（guò）濾風速（sù）下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱（yǐn）含的（de）條件是氣溶膠（jiāo）的發（fā）塵應該正好落在這個範圍之內,而且（qiě）粒徑的中值CMD應（yīng）該正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若（ruò）幹種（zhǒng）,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助（zhù）下可以保證有單分散相粒徑（jìng）發（fā）出。

壓縮空氣多（duō）分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異（yì）凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式氣溶膠發（fā）生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散（sàn）電移（yí）過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可以看出他們（men）使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用（yòng）後麵四種進（jìn）行測（cè）試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量一個（gè）粒（lì）徑值。其（qí）實是一個（gè）範圍。很多工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加（jiā）起來作為MPPS的數量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範（fàn）圍（wéi）的。

根據EN1822-5的說（shuō）法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候（hòu）是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為（wéi）上（shàng）下遊分別的粒子計數了。但是這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不（bú）是真正（zhèng）的單（dān）分散相還是有各種粒徑分（fèn）布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽（me）認為了。

對於多（duō）分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部或者（zhě）部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比（bǐ）為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部（bù）範圍或者部（bù）分。這是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般（bān）是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根（gēn）據EN1822要（yào）求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是（shì）規範也可（kě）以要求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行（háng）計量。

考慮（lǜ）到實際的光學粒子分（fèn）析儀,應該可以在其中三個分（fèn）段裏麵任選一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工（gōng）程結果是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為（wéi）大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可（kě）以在（zài）0.09um-0.27um之間選（xuǎn）擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量（liàng）濃（nóng）度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場的時（shí）候；

另外一種是用粒子計數器或者粒（lì）徑分析計數（shù）器,它（tā）既（jì）可以測粒徑（jìng）也可以測數量。不過需（xū）要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能（néng）分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實（shí）際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是（shì）因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來（lái）的,而不是（shì）實際測（cè）出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法（fǎ）找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散（sàn）相的（de）粒子發生（shēng）器來測試。因此其實找到的不是單一（yī）粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說（shuō）明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每（měi）一粒（lì）徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要（yào）求的（de）U15以上要求用粒子計數器（qì）,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需（xū）要先檢測（cè）出MPPS值。

對於（yú）現場中的（de）DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相（xiàng），因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要（yào）求了。因此要（yào）求現場的測試質量濃（nóng）度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果已經比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項目而言,還是使用H14以上的高效比（bǐ）較保險。

5. EN1822測試方法

對（duì）於（yú）H10以上的就需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵（miàn）已經有說明,總體而（ér）言就是測包含MPPS的（de）一段區間粒徑的數量;

6:對測（cè）試結果的分析

由於現場測試的隻能（néng）是樣本,而且不可能全部都測.因（yīn）此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差