濱州hepa高效過濾器

其實很多人對（duì）於高效過濾器的了解還是停留在（zài）表（biǎo）麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高（gāo）效過濾器,這句（jù）話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的（de）就看黑體（tǐ）字就可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍方（fāng）, 為MIT相關標準。其後（hòu）歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家（jiā）上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率（lǜ）大於99.95%的就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小（xiǎo）於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是（shì）單一粒徑（jìng）的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺（chǐ）寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值（zhí）.50%的粒子小於（yú）這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們（men）的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為大顆（kē）粒的粒子占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於（yú）EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同（tóng）。

3).新（xīn）版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的（de）。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低（dī）點。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易（yì）穿透的粒（lì）子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器（qì）或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑（jìng）不可能保證為唯一粒徑粒子,從（cóng）標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散。需要（yào）注意的是這個標準差和粒徑大小沒（méi）有（yǒu）直（zhí）接關係，也就是計算結果和粒（lì）徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大小在測（cè）試的時候（hòu）不（bú）是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間的。這個也就是為（wéi）什麽MPPS在實（shí）際現場（chǎng）測試的時候要求測試一個區（qū）間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需（xū）要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的（de）所有粒子總數。這裏所隱含的條件（jiàn）是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好落在這個範圍之內,而（ér）且粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器（qì）

氣溶膠發生器可以分為（wéi）若幹（gàn）種,如熱發塵（chén）和冷發塵,異凝結發塵和同凝（níng）結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的（de）IEST可以看出他們使用的是（shì）第（dì）一種和（hé）第二種,用光度儀（yí）測試質量（liàng）濃度比;而歐盟采用（yòng）後麵四種進行（háng）測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接（jiē）測量（liàng）一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來作（zuò）為MPPS的數量考慮應（yīng）該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個（gè）範圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在測試效率的時候是不計量粒子（zǐ）分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就（jiù）可以（yǐ）作為（wéi）上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要（yào）注意的是（shì）單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於（yú）1.5就可以這麽認為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要（yào）注意的是在上下遊收集的（de）時候（hòu）,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或（huò）者部分粒子（zǐ）數量即（jí）可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般（bān）坐落（luò）於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在（zài）EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因（yīn）為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是（shì）測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部（bù）分廠家或者測試方最（zuì）終的計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為計量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學（xué）粒子分析儀（yí）,應該可以在其中（zhōng）三個分段裏麵任選一個並且選擇（zé）全部的粒子或者部分的粒子。到底怎（zěn）麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因（yīn）為大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因此（cǐ）采用第二（èr）種（zhǒng）分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多（duō）分散粒子測試時候的（de）分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一（yī）般（bān）有兩種（zhǒng）方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不（bú）能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一（yī）種是（shì）用粒子計數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣（yàng）的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料（liào）測試的（de）最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規（guī）定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生（shēng）器來測試（shì）。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求（qiú）了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要（yào）求（qiú）對於其測試質量濃度就可以了,而對於高（gāo）要求的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利（lì）的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中（zhōng）的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其（qí）屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求（qiú）現場的測（cè）試質量濃（nóng）度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在（zài）實驗室（shì）要求低（dī）了。

對於大部分的項目而（ér）言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間（jiān）粒徑的數量;

6:對（duì）測試結果的分析

由於現場測試的（de）隻能是樣（yàng）本,而且（qiě）不（bú）可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分（fèn）布的（de）95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提（tí）到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差（chà）