常德hepa高效過濾器
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- 發布(bù)日期:2021/03/11
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其(qí)實很多人對(duì)於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的,
比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高(gāo)效(xiào)F9+末端的高效H14,但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的!
比如效率為(wéi)針對0.3um的粒子(zǐ)其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細(xì)意思其實並沒有多少人思考(kǎo)!
比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽?
下麵的內容則是(shì)我自己以前整理的一些筆記,針對高效過濾(lǜ)器(qì)的一(yī)些詳(xiáng)細介紹。
不太懂的就看黑體字就可以(yǐ)了!!!!
1.從HEPA高效過濾器效率說起
HEPA—high efficiency particulate air為高效過(guò)濾器
最(zuì)早的HEPA 的使用來源於美(měi)國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準
目(mù)前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大(dà)部分項目緊跟的是EN1822標準。
IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高(gāo)效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶(róng)膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於(yú)局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS
的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:
1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的(de)是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布(bù)當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.
因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要(yào)求.其實這個(gè)規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群(qún),也(yě)就是氣溶膠(jiāo)是單(dān)分散相或者多分散相的,是一(yī)個範(fàn)圍內的氣溶膠群體,而(ér)絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;
2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個(gè)值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆(kē)粒們其實它(tā)們的CMD大約在0.2um.這是因為大(dà)顆粒的粒子占有的數量權重(chóng)雖然小,但是(shì)質量(liàng)權重很大。因此在IEST上麵(miàn)說(shuō)99.97%@0.3um其實大(dà)致等同於EN1882的MPPS的(de)顆粒直徑.這裏也僅僅(jǐn)是類似,不能完全(quán)等同。
3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃(huá)入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;
4).MPPS到底是多少,是需要對某(mǒu)一種濾料,比如某一種玻璃纖(xiān)維做實驗室測試(shì)的。需要至少做(zuò)5次重複試驗。每次試驗均要(yào)發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的(de)區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在(zài)EN1822的統計,絕大部分的(de)最易穿(chuān)透的粒子(zǐ)粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值(zhí)。從商(shāng)業角度而言,氣溶膠發生器或者(zhě)LASKIN噴嘴(zuǐ)噴出的氣(qì)溶膠粒徑不可能保(bǎo)證為唯一粒徑粒子,從標準差而(ér)言.σ1.5為多分散。需要(yào)注意的(de)是(shì)這個標準差和粒徑大小沒有直接關係,也就是計算結果和粒徑沒有關(guān)係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频(men)可以認為MPPS的粒(lì)徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就(jiù)是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範(fàn)圍內的所有粒子數量總和;同時也(yě)要說明(míng)的是不同的過濾風速下(xià)MPPS是不同的(de)。出廠前需要明確額定濾速是多少.
5).對(duì)於實際的MPPS測試,一般要求(qiú)收集(jí)MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件(jiàn)是氣溶膠的發塵應該正(zhèng)好落在這個範圍之內,而且粒(lì)徑(jìng)的中值CMD應該正好等於MPPS[理(lǐ)想化],EN1822規定偏差不能超過10%;
2.氣溶膠發生器
氣(qì)溶膠發生器可(kě)以分為(wéi)若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結(jié)發塵和同凝(níng)結發塵,在DPMS的幫助下可以保證(zhèng)有單分散相粒徑發出。
壓縮空氣多(duō)分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM
空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM
Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05
Rapaport-Weinstork 發生器(qì) 單分散相異凝結 1.05
自由噴射凝結式(shì)氣溶膠發生器 準單分散相自(zì)凝(níng)結 σ=1.5
氣溶膠發塵+DPMS 多(duō)分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定
從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種(zhǒng),用光度儀測試(shì)質量濃度(dù)比;而歐盟采用後麵四種進行測試,更加合理優越。不過(guò)問(wèn)題在於MPPS不可能直接測(cè)量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。
根據EN1822-5的說法,如果是采用單分(fèn)散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子(zǐ)分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上(shàng)下遊分別的粒子計(jì)數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單(dān)分散相還是有各種粒(lì)徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。
對於多分散相就不是這麽回事(shì)了。因為標準差大於(yú)1.5,因此在進行測試(shì)的時候要求同時測粒子粒徑分布和數(shù)量。需(xū)要注意的是在上下遊收集(jí)的時(shí)候,在MPPS已經知(zhī)道的情況下,隻需要(yào)測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分(fèn)粒子數量即可。
舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子(zǐ)一般坐落於(yú)0.1um-0.25um之間。這個範圍的最(zuì)大值與最小(xiǎo)值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取(qǔ)MPPS/2-MPPS*2的全(quán)部範圍或者部分。這是因(yīn)為實際的(de)光(guāng)學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等(děng)。所以實際的結(jié)果是(shì)大部分廠家或(huò)者測試方最終的計數(shù)結果0.1um-0.2um之間的(de)總數作為計量基礎。
根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也(yě)可(kě)以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為(wéi)劑量範圍.因此實際的測試可以在
MPPS/1.5-MPPS*1.5
MPPS/2-MPPS*1.5
MPPS/1.5-MPPS*2
這三種情況下(xià)進行計量。
考慮到實(shí)際的光學(xué)粒子分析儀,應該可以在(zài)其中三個分段(duàn)裏麵(miàn)任選一個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎(zěn)麽選根據實際的(de)粒子(zǐ)分析儀來。實際的工程結果(guǒ)是選擇0.1-0.2um之間的。因為大(dà)部分MPPS在(zài)0.18um的樣子(zǐ),因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為(wéi)劑量標準。
以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。
3:接收方法
一般有兩種方法。
一種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在(zài)DOP方法測試H13和H14上(shàng)麵(miàn)特別是在現場的時候;
另外一種是用粒子計數(shù)器或者(zhě)粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能(néng)認為它什麽粒徑都能測,它一(yī)般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的(de)。上麵已經說過了。
這(zhè)是(shì)因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的(de),而不是實際測出來的。規定要(yào)求測至少六種不同的粒徑,通(tōng)過畫曲線的方法找到最低(dī)點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒(lì)子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;
並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要(yào)求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間(jiān)的粒(lì)徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能(néng)測試出某一段粒徑之間而絕不(bú)是細到每一粒徑(jìng)的;
4. IEST的測試方法
對於H13和H14,IEST要求對於其測(cè)試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的(de)那(nà)一個(gè)數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。
對於(yú)現場(chǎng)中的DOP檢測,很多公司使用TFI的(de)冷發塵,由於其(qí)屬於(yú)多分散相,因此(cǐ)其實導致的(de)結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的(de).因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。
對於大部分的項(xiàng)目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。
5. EN1822測試方法(fǎ)
對於H10以上的就(jiù)需要測試MPPS了,對於測試方法上麵(miàn)已經有說明,總體而言就是測包(bāo)含MPPS的一段區間粒徑的數量;
6:對測試結果的分析
由於現場測試的隻能是樣本(běn),而且不可能全部都測(cè).因此實際(jì)的(de)結果分析采用了泊(bó)鬆分布的95%置信(xìn)區間的(de)結(jié)果。
參(cān)考資料(liào)
IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資(zī)料當中(zhōng)提到了統計學相關知(zhī)識,包括泊鬆分(fèn)布/95%置信區間/標準差/幾何標準差