常州hepa高效過濾器（qì）

其實很多人對於高效過（guò）濾器的了解還（hái）是停留在表麵上的（de），

比如隻知（zhī）道潔淨室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的（de）詳細意思其實並（bìng）沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸（cùn）是（shì）什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效（xiào）過濾（lǜ）器的一些詳細介紹（shào）。

不太懂（dǒng）的就看（kàn）黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早的HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標（biāo）準。其後（hòu）歐洲持（chí）續優（yōu）化自（zì）身規範和標準

目前國家（jiā）上通行（háng）的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的（de）顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑（jìng）考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的（de）規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量（liàng）中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶（róng）膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是（shì）粒子尺寸中徑,也就（jiù）是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是（shì）因為大顆（kē）粒的粒子占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上（shàng）麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能（néng）完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不（bú）同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至（zhì）少（shǎo）做5次重複試驗。每次試驗均（jun1）要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的（de）粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商（shāng）業角度（dù）而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差而言（yán）.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒（lì）徑大小沒有直接關係，也就是（shì）計算結（jié）果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對（duì）某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測（cè）試的時（shí）候要求測試一個區間範圍內的（de）所有粒子數量總和;同（tóng）時也要說明的是不同的過（guò）濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需（xū）要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試,一般要求（qiú）收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所（suǒ）隱含的條件是氣溶膠的發（fā）塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑（jìng）的中值（zhí）CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分（fèn）散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝（níng）結（jié） σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散電（diàn）移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可（kě）以看出他們（men）使用的是第一種和第二（èr）種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試（shì），更加合理優越。不過問題在於MPPS不可（kě）能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量全部加起來作為MPPS的數量考慮應（yīng）該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時（shí）候是不計量粒（lì）子分徑的。直接（jiē）把（bǎ）所（suǒ）有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單（dān）分散相也不是真正（zhèng）的單分散相還是有各種粒徑（jìng）分布的（de）。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分（fèn）散相就（jiù）不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進（jìn）行測試的時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已（yǐ）經知道的（de）情（qíng）況下（xià）,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者部（bù）分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落（luò）於（yú）0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學（xué）粒子計數器有一個測量精度（dù）問題。大家知道的一般是測量分段（duàn）為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任選一組作（zuò）為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏麵任（rèn）選一（yī）個並且選擇全部（bù）的（de）粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際（jì）的粒子分析儀來。實際的工程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標（biāo）準。

以上是對多分散粒子測試（shì）時（shí）候的分析與（yǔ）說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計（jì）,它不能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現場的時候（hòu）；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計（jì）數器,它既可以（yǐ）測粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它（tā）一般隻能分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒（lì）徑也能分析的一清（qīng）二楚（chǔ）. 因此實際的接收（shōu）粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通（tōng）過畫曲線的方法找到最低（dī）點（diǎn）MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散（sàn）相的粒子（zǐ）發生器（qì）來（lái）測試。因此其實找（zhǎo）到的不是單一粒徑,而（ér）是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已（yǐ）經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是（shì）粒子分析隻能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量濃度（dù）就（jiù）可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒（lì）子計數器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那一個數據.但是並不需（xū）要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要（yào）求了。因此（cǐ）要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要（yào）求低了。

對於大部分的項目而言（yán）,還是使用H14以上的高效（xiào）比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以（yǐ）上的（de）就需（xū）要測試（shì）MPPS了,對（duì）於測試方法上麵（miàn）已經（jīng）有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試（shì）的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因（yīn）此（cǐ）實際的結果分析采（cǎi）用了（le）泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料（liào）當中提到了統計（jì）學（xué）相（xiàng）關知識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準（zhǔn）差