丹東hepa高效（xiào）過（guò）濾器

其實很多人對於（yú）高（gāo）效過濾器的（de）了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室（shì）要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的（de）一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國（guó）的A級（jí）別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒（méi）有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子（zǐ）的尺寸是什（shí）麽（me）？

下（xià）麵的內容則是我（wǒ）自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一（yī）些詳細介紹。

不太懂的就看黑（hēi）體字就（jiù）可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相（xiàng）關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上（shàng）通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項（xiàng）目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶（róng）膠下通（tōng）過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以（yǐ）看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠（jiāo）粒（lì）徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值（zhí）.

因（yīn）此不（bú）要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相（xiàng）或者多分散相的,是一（yī）個範圍（wéi）內（nèi）的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子（zǐ）大於這（zhè）個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖（suī）然小,但是質量權重很大。因（yīn）此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少（shǎo）,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一種（zhǒng）玻（bō）璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需要至（zhì）少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散（sàn）相或（huò）者（zhě）多分散（sàn）相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕（jué）大部分（fèn）的最（zuì）易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器（qì）或者LASKIN噴嘴噴出的氣（qì）溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而言（yán）.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關（guān）係，也就是（shì）計算結果和粒徑沒（méi）有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試（shì）的時候不（bú）是針對某一個粒徑的而是針（zhēn）對一個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候（hòu）要（yào）求測試一個區間範圍（wéi）內的所有粒子（zǐ）數量總和;同時也（yě）要說明的是不同的過濾風（fēng）速下MPPS是不同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是多（duō）少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所隱含的條件是氣溶膠的（de）發塵應該正好落在（zài）這（zhè）個範圍之內,而且（qiě）粒徑的中值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生（shēng）器

氣溶膠發生（shēng）器可以分為（wéi）若幹種,如熱（rè）發塵和（hé）冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分（fèn）散相粒徑發出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進（jìn）行（háng）測（cè）試，更加（jiā）合（hé）理（lǐ）優越。不過問題在於MPPS不可能直接測（cè）量一個粒徑值。其實是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為（wéi）MPPS的（de）數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法（fǎ）,如果是采用（yòng）單分散相粒（lì）子在測試效率的時候是不計量粒（lì）子分徑（jìng）的。直接把所有的粒子數量（liàng）加在一（yī）起就可以作為（wéi）上下遊分別的粒子計數了。但是這（zhè）裏要注意的（de）是單分散相也不（bú）是真正的單分散相還是有（yǒu）各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這（zhè）麽認為了（le）。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大（dà）於1.5，因此在進行測試的時（shí）候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注（zhù）意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況（kuàng）下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全（quán）部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個範圍的最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此（cǐ）在EN1822-5的要求下（xià）,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部範圍或者（zhě）部分。這是因（yīn）為實際的光學粒子計數器有一個測（cè）量（liàng）精度（dù）問（wèn）題（tí）。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最（zuì）終（zhōng）的（de）計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考（kǎo）慮（lǜ）到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或（huò）者部分的粒子。到底（dǐ）怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑（jì）量標準。

以上（shàng）是對多分散粒子測試時候的分析與（yǔ）說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和（hé）H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑也可以測數量。不（bú）過需要說（shuō）明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它（tā）一般（bān）隻能分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上（shàng）麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料（liào）測試的最低（dī）MPPS的點是曲線找出來的,而不（bú）是實際測出來的。規定（dìng）要求測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相（xiàng）的粒（lì）子發生器來測試。因此其實找到（dào）的不是單一粒徑,而（ér）是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了（le）MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明（míng）了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而（ér）絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質（zhì）量濃度就可以了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用粒子計數器,並且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組中的更加不利（lì）的那一個數據（jù）.但是並不（bú）需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於（yú）0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因（yīn）為這裏（lǐ）的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項（xiàng）目而言（yán）,還是（shì）使用H14以上的高效比較保險（xiǎn）。

5. EN1822測試方法

對於（yú）H10以上的就需要測試MPPS了,對於（yú）測試方法上麵已經有（yǒu）說明,總體而（ér）言就是測包含MPPS的（de）一段（duàn）區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的分析

由（yóu）於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結（jié）果（guǒ）分析采用了泊（bó）鬆分布的95%置信區間的結果。

參（cān）考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括（kuò）泊鬆（sōng）分布（bù）/95%置信區間/標準（zhǔn）差/幾何標準差