達州hepa高效過濾（lǜ）器

其實很（hěn）多人對於高效過（guò）濾器的了解還是停（tíng）留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過（guò）濾器的（de）一些特性還是不太了（le）解的！

比如效率為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法（fǎ）介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的（de）尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前（qián）整理的一些筆（bǐ）記，針對高效（xiào）過濾（lǜ）器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑（hēi）體字就可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐（ōu）洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分（fèn）項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於（yú）99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對（duì）於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩張表格,分析（xī）如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶（róng）膠是單分散相或（huò）者多分（fèn）散（sàn）相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指（zhǐ）的是粒子尺寸（cùn）中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於（yú）這（zhè）個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質（zhì）量權（quán）重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似（sì），不能完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多少（shǎo）,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做（zuò）實驗室測試（shì）的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單（dān）[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒子,布（bù）滿整體的（de）0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低（dī）點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的某一（yī）個值。從商業角度而言（yán）,氣溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒徑不可能保證（zhèng）為唯一（yī）粒徑（jìng）粒子,從標準差（chà）而言.σ1.5為（wéi）多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有（yǒu）直接關係（xì），也（yě）就是計算結果和粒徑沒有關係.因此（cǐ）草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的（de）而是針（zhēn）對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在（zài）實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於實際的（de）MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件（jiàn）是氣溶膠的發塵應（yīng）該正好（hǎo）落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於（yú）MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差（chà）不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異（yì）凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發（fā）生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射（shè）凝結式氣溶膠發生器 準單（dān）分散相自凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美（měi）國的IEST可以（yǐ）看出他（tā）們使（shǐ）用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃（nóng）度比;而歐（ōu）盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是一個（gè）範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來作（zuò）為（wéi）MPPS的數量考（kǎo）慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是（shì）不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下（xià）遊分別的粒（lì）子計數（shù）了。但是這裏要（yào）注意的是單（dān）分散（sàn）相也不是真正的單分散相還是有（yǒu）各種粒徑分布的。隻要標準（zhǔn）差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測（cè）試的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑（jìng）分（fèn）布和（hé）數量。需要注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的情況下（xià）,隻需（xū）要測量（liàng）MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這（zhè）個（gè）範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者部（bù）分。這是因（yīn）為實際的光學粒子計數器有（yǒu）一個測量精（jīng）度問題。大家知道（dào）的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果（guǒ）是大（dà）部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要求,最好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組（zǔ）作為劑（jì）量範圍.因此實際的測試（shì）可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到（dào）實際的光學粒子分析儀,應該可以在其（qí）中三（sān）個分段裏（lǐ）麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或者部分的（de）粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分（fèn）段發（fā）可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作為（wéi）劑量標準。

以上是對多分散（sàn）粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定質量濃度的光度計,它不（bú）能（néng）計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測試H13和H14上（shàng）麵特別是在現場的時（shí）候；

另（lìng）外一種是用粒子計（jì）數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以測（cè）粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒（lì）徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能（néng）分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收粒子MPPS是（shì）在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經說（shuō）過了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六（liù）種不同的（de）粒徑,通過畫曲線（xiàn）的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻（zhī）能用單（dān）分散相的粒（lì）子發（fā）生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上（shàng）要（yào）求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者（zhě）0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個數據.但是並（bìng）不需要先檢測出MPPS值。

對於現場（chǎng）中的（de）DOP檢測（cè）,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於（yú）其屬於多分散相，因此其實（shí）導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的（de）要求了。因此要求現場的測試質量濃（nóng）度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏（lǐ）的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較（jiào）保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計（jì）學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何（hé）標準差