阜新hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效（xiào）H14，但是對於高效（xiào）過濾器的一些特性還是不太（tài）了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵（miàn）的內容則是我自己（jǐ）以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一（yī）些詳細（xì）介紹。

不太（tài）懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲持續優化自（zì）身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目緊跟的是（shì）EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的（de）顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是（shì）H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息（xī）:EN1882對於局部穿透率可以是整（zhěng）體的5倍這當然（rán）是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之（zhī）下;
IEST描述
針（zhēn）對（duì）以上（shàng）的兩張表格,分析如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子（zǐ）質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質（zhì）量大於這（zhè）個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也（yě）就是氣溶膠是單分（fèn）散相或（huò）者（zhě）多（duō）分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不（bú）是單（dān）一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於（yú）這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其實它們的CMD大約在0.2um.這是（shì）因為大顆（kē）粒的粒子占（zhàn）有的數（shù）量（liàng）權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不（bú）能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度而言,氣溶（róng）膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標（biāo）準差和粒徑大小沒有直接關係，也（yě）就是計算結果和（hé）粒徑沒有關（guān）係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可以（yǐ）認（rèn）為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測（cè）試的（de）時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測（cè）試一個區（qū）間範圍內的所有（yǒu）粒（lì）子數量（liàng）總（zǒng）和;同時也要說明的是不同的過濾風速下（xià）MPPS是不同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速是（shì）多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠（jiāo）的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的（de）中值CMD應該正好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發塵（chén）和同凝（níng）結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發（fā）生器 單（dān）分散相異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5

氣（qì）溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可（kě）以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃（nóng）度比;而歐盟采用後（hòu）麵（miàn）四種進行測試（shì），更加合理（lǐ）優越。不過問題（tí）在於MPPS不可能直接（jiē）測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全（quán）部加起來作（zuò）為MPPS的（de）數量考慮應（yīng）該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子（zǐ）在（zài）測試效率的時候是不計量（liàng）粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分（fèn）別的粒子計數（shù）了。但是這裏（lǐ）要（yào）注（zhù）意的是單分散相也不是真（zhēn）正（zhèng）的單（dān）分散（sàn）相還是有各種粒徑分（fèn）布的（de）。隻要標準差小於（yú）1.5就（jiù）可（kě）以這麽認為了。

對於（yú）多分散相（xiàng）就不是這麽回事了。因為（wéi）標準差大於1.5，因（yīn）此在進行測試（shì）的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊（yóu）收（shōu）集的時候,在MPPS已經知道（dào）的情況下,隻（zhī）需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落（luò）於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大（dà）家（jiā）知道的一般是測量分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是大部分廠（chǎng）家或者測試方最終的計（jì）數（shù）結果0.1um-0.2um之間的（de）總數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最（zuì）好的（de）測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範（fàn）也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段上任選一組作（zuò）為劑量範圍.因此（cǐ）實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情（qíng）況下進行計量（liàng）。

考慮到實際的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇（zé）全（quán）部的粒（lì）子（zǐ）或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析儀來。實際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的樣子,因此采（cǎi）用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部（bù）分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量（liàng）標準。

以上是對多（duō）分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收（shōu）方法（fǎ）

一般有兩種方法。

一種是用（yòng）於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試（shì）H13和H14上麵特（tè）別（bié）是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑（jìng）也可以測數量。不過（guò）需要說明的是不能認為它什麽粒（lì）徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家（jiā）想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此（cǐ）實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲線找（zhǎo）出來（lái）的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至少六種不同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發（fā）生器來測（cè）試。因此其實找到的不是（shì）單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且（qiě）在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明（míng）了是粒子分析（xī）隻能測試出某一（yī）段粒徑之間而絕不是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測（cè）試質（zhì）量濃度就（jiù）可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒（lì）子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那一（yī）個數據.但是並不需要先（xiān）檢（jiǎn）測出（chū）MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場的測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的（de）結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於（yú）測試方法上麵已經有說明,總體（tǐ）而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑的（de）數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻（zhī）能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在（zài）資料當中提（tí）到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區（qū）間/標準差/幾何標準差（chà）