貴陽hepa高效過濾器（qì）

其實很多（duō）人對（duì）於（yú）高效過濾器的了解還（hái）是停留在表麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美（měi）國的A級別高（gāo）效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽（me）？

下（xià）麵的內容則是我自己以前（qián）整（zhěng）理（lǐ）的一些筆記，針對高效過濾器的一些（xiē）詳細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐（ōu）洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部（bù）分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於（yú）99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑（jìng）考慮之下（xià）;
IEST描（miáo）述
針對（duì）以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這（zhè）個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這（zhè）個規定要求的是質量中（zhōng）徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散（sàn）相的（de）,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是粒子尺寸中徑,也就是（shì）有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒（lì）子占有的數量權重（chóng）雖然（rán）小,但是質量權重（chóng）很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅（jǐn）僅是類似，不能完（wán）全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少（shǎo）,是需要對某一種濾（lǜ）料（liào）,比如某一種玻（bō）璃纖維做實（shí）驗室測試的。需要至少做5次重複（fù）試驗。每次（cì）試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線（xiàn）做（zuò）出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒（lì）子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而言（yán）.σ1.5為多分（fèn）散。需要注意的是這個標準差和粒徑大（dà）小沒有直接關係，也就是計算結果和粒（lì）徑沒有關係.因此（cǐ）草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個（gè）粒徑的（de）而是針（zhēn）對一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數（shù）量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過（guò）濾風速下MPPS是不（bú）同（tóng）的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是多少.

5).對於實際的MPPS測（cè）試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條（tiáo）件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差（chà）不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可（kě）以分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷發塵,異凝結發（fā）塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發（fā）生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單（dān）分散相（xiàng） σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種和（hé）第二（èr）種,用光度（dù）儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優（yōu）越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測（cè）量一個粒徑值。其（qí）實是一個範（fàn）圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為MPPS的數量（liàng）考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是（shì）采用單分散相粒子在測試效率的時候是（shì）不計量粒子分徑的。直接把所有的粒（lì）子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計數了。但是這裏要注意的是單分（fèn）散（sàn）相也（yě）不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布（bù）的。隻要標（biāo）準差小於1.5就可以（yǐ）這麽（me）認為了。

對於多分散相就不（bú）是這麽回事了。因為標準差大（dà）於1.5，因此（cǐ）在進行測試的（de）時候要求同時測粒子粒徑分布和數（shù）量。需（xū）要（yào）注意的是在（zài）上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部（bù）分粒子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般（bān）坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值（zhí）與最小值之比為2.5.因此在（zài）EN1822-5的（de）要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量（liàng）精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方（fāng）最終的計數結果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也（yě）可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選一組作為劑量範圍.因此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進（jìn）行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可（kě）以在其中三個分段裏（lǐ）麵任選一個並且選擇全部的粒（lì）子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的（de）值作為劑（jì）量標準。

以上是對多分散粒子測（cè）試時候的分析與說明。

3:接（jiē）收方法（fǎ）

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃（nóng）度的光度計,它不（bú）能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上（shàng）麵特別是在現場的時候；

另外（wài）一種是用粒子計數器或者粒徑分（fèn）析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能（néng）認為它什麽粒徑都能測,它（tā）一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因（yīn）此實（shí）際的接（jiē）收粒子MPPS是在一（yī）段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是（shì）因（yīn）為EN1822-3對於濾料測（cè）試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規（guī）定要求測至少六種不同的（de）粒徑,通過（guò）畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點（diǎn）MPPS。這（zhè）種方法隻能用單分散相（xiàng）的粒子（zǐ）發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明（míng）了是（shì）粒子分析隻能測試出某一（yī）段（duàn）粒徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試（shì）質（zhì）量濃度就可以了,而（ér）對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直（zhí）接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利（lì）的那（nà）一個數據.但是並（bìng）不需要先檢（jiǎn）測出MPPS值。

對於現（xiàn）場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在（zài）0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質（zhì）量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對（duì）於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對於（yú）測試（shì）方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就是測（cè）包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的（de）數量;

6:對測（cè）試結果的（de）分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的結果分析采用了（le）泊鬆分布的（de）95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間（jiān）/標準差/幾何標準差