哈（hā）爾濱hepa高效過濾器（qì）

其實（shí）很（hěn）多人（rén）對於高（gāo）效過濾器的了解還是停（tíng）留（liú）在表（biǎo）麵上的（de），

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端的高（gāo）效H14，但是對於高效過濾器的一些（xiē）特性（xìng）還是不（bú）太了解的（de）！

比如效率（lǜ）為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於99.97%為美國的A級（jí）別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒（méi）有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過（guò）濾器的測試粒子（zǐ）的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自（zì）己以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效（xiào）率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用（yòng）來（lái）源於（yú）美國軍方, 為MIT相關標準。其（qí）後歐洲持續優化自身規範（fàn）和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是（shì）粒子質量（liàng）中徑,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個值,50%的（de）質量小於這個值.

因此不（bú）要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的（de）要求.其實這個規定要求的是質量中徑在0.3um的（de）氣溶膠群,也就是氣（qì）溶膠是單分散相或者多分散（sàn）相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是單一（yī）粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的（de）顆粒們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但（dàn）是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑（jìng）.這裏也（yě）僅（jǐn）僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分（fèn）類劃入高效係列,不同於以前（qián）的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對某一種濾（lǜ）料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或（huò）者多（duō）分散相的粒（lì）子（zǐ）,布滿（mǎn）整體的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來最低點。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度（dù）而言（yán）,氣溶膠發生（shēng）器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可（kě）能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分（fèn）散。需（xū）要注（zhù）意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大（dà）小沒有直接關（guān）係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個（gè）粒徑的而是針對一（yī）個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要（yào）求（qiú）測試一個區間範圍內的（de）所有粒子數量總和;同時也要說明的是（shì）不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際（jì）的（de）MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子（zǐ）總數。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發（fā）塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的（de）中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差（chà）不能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異（yì）凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫助下可（kě）以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分散相（xiàng）異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝結（jié）式氣溶膠發生器（qì） 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠（jiāo）發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量（liàng）濃度比（bǐ）;而歐盟采（cǎi）用後麵（miàn）四種進行測試，更（gèng）加合理優越。不（bú）過問題在於MPPS不可（kě）能直接測（cè）量（liàng）一個粒徑值。其實（shí）是一個範圍。很多工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分（fèn）徑（jìng）的。直接把（bǎ）所有的粒子數量加在一起就可以作為（wéi）上（shàng）下遊分（fèn）別（bié）的粒子計數了。但是（shì）這裏要注（zhù）意（yì）的是單分散（sàn）相也不是真正的單（dān）分散相（xiàng）還是有各種粒（lì）徑分布的。隻（zhī）要標（biāo）準差小於1.5就可以這麽認（rèn）為了（le）。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試（shì）的時候要求同（tóng）時測粒子粒徑分布和數量。需（xū）要注意的是在上下遊收集的（de）時候（hòu）,在MPPS已經知道的情（qíng）況下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分（fèn）段裏麵（miàn）的全部或者部分粒子（zǐ）數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已（yǐ）經發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之（zhī）間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實（shí）際的光學粒子計數器有（yǒu）一個測量精度（dù）問題。大家知道的一般是測量分（fèn）段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的（de）結果是（shì）大部分廠家或者測試方最終的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者（zhě）在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段上任選（xuǎn）一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量（liàng）。

考慮到（dào）實際的光（guāng）學粒子分析儀（yí）,應該（gāi）可以在其中三個分段裏麵（miàn）任選（xuǎn）一個並且選擇全（quán）部的粒子或者部分的（de）粒子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析儀來。實際（jì）的工程（chéng）結果（guǒ）是選（xuǎn）擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量（liàng）標準。

以上（shàng）是對多（duō）分散粒子測試時候的分析（xī）與（yǔ）說明。

3:接收方法（fǎ）

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在（zài）DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候（hòu）；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測粒徑（jìng）也可以測數量。不過需要說（shuō）明的是不能認為它什麽粒徑都（dōu）能測,它一般隻能分段（duàn）測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒（lì）子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上（shàng）麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測（cè）至少六種不同（tóng）的粒徑,通過畫曲線的方法（fǎ）找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑（jìng）之（zhī）間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測（cè）試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不（bú）利的（de）那一個數據.但是並（bìng）不（bú）需要先檢測出MPPS值（zhí）。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷（lěng）發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致（zhì）的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試（shì）質量（liàng）濃度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏（lǐ）的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在實（shí）驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於測試方法上麵已（yǐ）經有說明,總體（tǐ）而言就（jiù）是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析（xī）

由（yóu）於現場（chǎng）測試（shì）的隻能（néng）是樣本,而且不可能全部都（dōu）測.因此實際的結果分析采用了（le）泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料（liào）當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布（bù）/95%置信區間/標（biāo）準差/幾何標準差