淮北hepa高（gāo）效過濾器

其實很多人對於（yú）高（gāo）效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中（zhōng）高效（xiào）F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率（lǜ）為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美（měi）國的A級別高（gāo）效（xiào）過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過（guò）濾器的測（cè）試（shì）粒子的尺寸（cùn）是什麽（me）？

下麵的內容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就（jiù）看黑體字就（jiù）可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效（xiào）過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的（de）使用來源於美國軍方, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目（mù）前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準（zhǔn）。中國國（guó）內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的整體效率不（bú）低於99.97%為高效;EN1882規定隻（zhī）要在MPPS的氣溶膠下通過（guò）率大於99.95%的就可以,也就是H13以上（shàng）;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部（bù）穿（chuān）透率可以是整（zhěng）體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩（liǎng）張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個（gè）規（guī）定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單分（fèn）散相（xiàng）或者多分散相的,是一個範（fàn）圍內（nèi）的氣溶膠群體（tǐ）,而絕不是單一粒（lì）徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的（de）粒子（zǐ）大於（yú）這個值.50%的粒（lì）子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這（zhè）是（shì）因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此在IEST上麵說（shuō）99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同（tóng）於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一（yī）種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室（shì）測試（shì）的。需要（yào）至少做5次重複（fù）試驗（yàn）。每次試驗均要發（fā）單[準]分散相或者多分（fèn）散相的粒子（zǐ）,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出（chū）的氣溶（róng）膠（jiāo）粒徑不可能保證為（wéi）唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒（méi）有直接（jiē）關係，也就是計算（suàn）結果和粒徑沒有（yǒu）關係.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的（de）粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間（jiān）的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要（yào）求測（cè）試一個區（qū）間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下（xià）MPPS是不同的。出廠前（qián）需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷（lěng）發塵,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵（chén）,在DPMS的幫助下可（kě）以保證有單分（fèn）散相（xiàng）粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異（yì）凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式（shì）氣（qì）溶膠發生器（qì） 準單分散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們（men）使用的（de）是第一種和第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟（méng）采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可（kě）能直（zhí）接測量一個粒（lì）徑值。其實是一個範圍。很多（duō）工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的。

根據EN1822-5的（de）說法,如果是采用單分（fèn）散相粒子在測試效（xiào）率的時候是不計量粒（lì）子分（fèn）徑的。直（zhí）接把所有的粒子數（shù）量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了（le）。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散（sàn）相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可（kě）以這麽（me）認為了。

對於多分（fèn）散相就不是這麽回事了。因為標準差大（dà）於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分（fèn）布和數量。需要注意的是（shì）在上下遊收集的（de）時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全（quán）部（bù）或者部分（fèn）粒子數量即可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的（de）最大值（zhí）與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這（zhè）是（shì）因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度（dù）問題。大家知（zhī）道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部（bù）分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的（de）測量（liàng）範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範（fàn）也可以（yǐ）要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段（duàn）上任選（xuǎn）一（yī）組（zǔ）作為劑量範圍（wéi）.因此實（shí）際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該（gāi）可以在其中三個分（fèn）段裏麵任選一個並且選擇全部的粒（lì）子或者部分的粒子（zǐ）。到底怎（zěn）麽選根（gēn）據實際的粒子分析儀來（lái）。實際的（de）工程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部（bù）分MPPS在0.18um的（de）樣子,因此采用第二種分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候（hòu）的分析與說明。

3:接（jiē）收（shōu）方法

一般有兩種（zhǒng）方法。

一種是用於測定質量濃度（dù）的（de）光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方（fāng）法測試H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什（shí）麽（me）粒徑都能測,它一（yī）般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒（lì）子MPPS是在一段粒徑之（zhī）間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找（zhǎo）出來的,而不是（shì）實際測出來的（de）。規定要求（qiú）測至少六種不同的粒徑,通過（guò）畫曲線的方法找到（dào）最低點MPPS。這種方（fāng）法隻能用單分散相（xiàng）的粒子發生器來測試。因此其實（shí）找到的（de）不是單一粒徑,而是一（yī）個（gè）區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測（cè）試出某一段粒徑之間而絕不（bú）是細到每一粒（lì）徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試（shì）質量（liàng）濃度就可以了,而對於（yú）高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的更加不利的那一個數據.但是並（bìng）不需要先檢測出MPPS值。

對於現（xiàn）場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現（xiàn）場的測試質（zhì）量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在（zài）實驗室要求（qiú）低了。

對於大部分（fèn）的項目而言,還是使用H14以上的高（gāo）效比較保（bǎo）險。

5. EN1822測試方法

對於（yú）H10以上的就需要測試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測（cè）包含MPPS的一（yī）段（duàn）區（qū）間粒徑的數量（liàng）;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結（jié）果（guǒ）分（fèn）析采（cǎi）用了泊鬆分布的95%置信區間的（de）結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知（zhī）識（shí）,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何（hé）標準差