懷化hepa高效過濾器

其實很多人（rén）對於高效過濾器（qì）的了解還（hái）是停留在表麵上的，

比如隻（zhī）知道潔淨室要安裝初效G4+中（zhōng）效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效（xiào）過濾器的一（yī）些特性還是不太了解的！

比如（rú）效率為針對0.3um的粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美（měi）國的A級別高效過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多少人思考（kǎo）！

比如（rú）MPPS方法介紹的（de）H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則（zé）是我自己以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效過濾（lǜ）器的一些詳細介（jiè）紹（shào）。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化（huà）自（zì）身規範和標（biāo）準

目前國家上通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目（mù）緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通（tōng）過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就是H13以（yǐ）上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是（shì）整（zhěng）體的5倍這當然（rán）是在MPPS 的粒徑考慮之下（xià）;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑（jìng）,也就是所有的（de）氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值（zhí）.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一（yī）個（gè）範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的（de）是（shì）粒子尺寸中（zhōng）徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大顆（kē）粒（lì）的粒子占（zhàn）有的數量（liàng）權重（chóng）雖然小,但是質量權重很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的（de）EN1822-2000;

4).MPPS到底是多（duō）少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某（mǒu）一種玻璃纖維做實驗室測試（shì）的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的（de）粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業角度（dù）而（ér）言,氣溶膠（jiāo）發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出（chū）的氣溶膠粒徑不可（kě）能保證（zhèng）為唯一粒徑粒（lì）子,從（cóng）標準差（chà）而言.σ1.5為多（duō）分散（sàn）。需要注意的是這個標準差和粒徑大小（xiǎo）沒有直接關係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有（yǒu）關係.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針（zhēn）對一個區間的。這（zhè）個也就是為什麽MPPS在實（shí）際現場測試（shì）的時候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的（de）是（shì）不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要（yào）求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且（qiě）粒徑的中值（zhí）CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣（qì）溶膠發生器（qì）可以（yǐ）分為若幹種,如（rú）熱（rè）發塵和冷發塵,異凝結發塵和同（tóng）凝結發塵,在DPMS的幫（bāng）助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準（zhǔn）單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美國的IEST可以看出（chū）他們使（shǐ）用的是第一種和第二種,用光度（dù）儀（yí）測試質量濃度比（bǐ）;而（ér）歐盟采（cǎi）用後麵（miàn）四種進行測試，更加合理優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如（rú）果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數（shù）量加（jiā）在一起就可以作為上下遊分別的粒子（zǐ）計數了（le）。但是這裏要注意（yì）的是單分散相也不（bú）是（shì）真正的單分散（sàn）相還是有各種粒（lì）徑分布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差（chà）大於1.5，因此在進行測（cè）試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道（dào）的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵（miàn）的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍（wéi）的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全（quán）部（bù）範圍或者部（bù）分。這是因為實際的光學粒子（zǐ）計數器有（yǒu）一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果（guǒ）是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範（fàn）也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種（zhǒng）情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並（bìng）且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽（me）選根（gēn）據實際的粒（lì）子分析儀來。實際的（de）工（gōng）程（chéng）結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第（dì）二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試（shì）時候的分析與說明。

3:接收方法

一（yī）般有兩種方法（fǎ）。

一種是用於測定質量濃度的（de）光（guāng）度計,它不能計（jì）數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒（lì）徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也（yě）能分析的一清二楚. 因此（cǐ）實際的接收粒子MPPS是在（zài）一段粒徑之間的。上麵已經說過了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出（chū）來的（de）。規定（dìng）要求測（cè）至（zhì）少六種不（bú）同（tóng）的粒徑,通過（guò）畫曲線的（de）方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分（fèn）散相的粒子發生器來測試（shì）。因此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這（zhè）更加說明了是粒子分（fèn）析隻能（néng）測試出某一段粒徑之間而（ér）絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要（yào）求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多（duō）公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致的（de）結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已（yǐ）經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這（zhè）裏的結果已經比（bǐ）0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大部分的（de）項目而言（yán）,還是使用（yòng）H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對（duì）於H10以上的（de）就需要測（cè）試MPPS了,對於測試方（fāng）法上麵已經有說明,總體而言就（jiù）是測包含MPPS的一（yī）段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測（cè）試的（de）隻能是樣（yàng）本,而且不可能全（quán）部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分（fèn）布的95%置信區間（jiān）的結果（guǒ）。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括（kuò）泊鬆分（fèn）布（bù）/95%置信區間/標準差（chà）/幾何標準差