晉城hepa高效過（guò）濾器

其實（shí）很多（duō）人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高（gāo）效過（guò）濾器的一些特（tè）性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話的（de）詳細意思（sī）其實並（bìng）沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內容（róng）則是我（wǒ）自己以前整（zhěng）理的一些筆記，針（zhēn）對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾（lǜ）器效率說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾（lǜ）器

最早的HEPA 的使用來（lái）源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲（zhōu）持續優化自身（shēn）規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊（jǐn）跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻要在MPPS的（de）氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息（xī）:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然（rán）是在MPPS 的（de）粒徑考慮（lǜ）之下;
IEST描述
針對以上的兩張表（biǎo）格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指（zhǐ）的是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個（gè）值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅（jǐn）是針對（duì）0.3um的要求.其實這個規定（dìng）要求（qiú）的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也（yě）就是（shì）氣溶膠是單分散相或者多分（fèn）散相的,是一個範圍內的氣溶膠群（qún）體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒（lì）子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大（dà）顆粒的（de）粒子占有的數量權（quán）重雖然小,但是質量權重很大。因（yīn）此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實（shí）大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能（néng）完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作（zuò）為（wéi）HEPA的分類（lèi）劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是（shì）需要對（duì）某一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維做實驗室測試的。需（xū）要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相（xiàng）的粒（lì）子,布滿整體（tǐ）的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點（diǎn）。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角（jiǎo）度而言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶（róng）膠粒（lì）徑不可能保證為唯一粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差（chà）和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關（guān）係（xì）.因此（cǐ）草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試（shì）的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這（zhè）個也（yě）就是為什麽MPPS在實際現（xiàn）場（chǎng）測試的時候要求測試一（yī）個區間範圍內的所有粒（lì）子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速（sù）是（shì）多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試（shì）,一般要求（qiú）收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱（yǐn）含的條（tiáo）件是氣（qì）溶膠的發（fā）塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正（zhèng）好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若幹（gàn）種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可（kě）以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠（jiāo）發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發（fā）塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的（de）IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比（bǐ）;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒（lì）子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說（shuō）法（fǎ）,如果是采用單分散相粒子在測試效率的（de）時（shí）候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分別的粒（lì）子計數了。但是這（zhè）裏要注意的是單分散相也（yě）不（bú）是真正的單分散相還是有（yǒu）各（gè）種粒徑（jìng）分布的。隻（zhī）要（yào）標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就（jiù）不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時（shí）候要求同時測粒子粒徑（jìng）分布（bù）和數量。需要注意的（de）是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全（quán）部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經（jīng）發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值（zhí）之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全（quán）部範圍或者部（bù）分。這是因（yīn）為實際的光學粒子計數器有一個（gè）測（cè）量精度問題（tí）。大家知道的一般是測量（liàng）分段（duàn）為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等（děng）。所以實際的（de）結果（guǒ）是大部分廠家或者測（cè）試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範（fàn）圍.因此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到（dào）實（shí）際的光學粒子分析儀,應（yīng）該可以在其（qí）中三個分段裏麵任（rèn）選一個並且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是（shì）對多分散（sàn）粒子測試時候的分析與說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩（liǎng）種方法。

一種是用於測（cè）定質量濃（nóng）度的光度（dù）計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是（shì）在現場（chǎng）的時候；

另（lìng）外一種是（shì）用粒（lì）子計數器或者粒徑分析計數（shù）器,它既可以測粒徑也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是不能（néng）認為它什麽粒徑（jìng）都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵（miàn）已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生（shēng）器（qì）來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以（yǐ）這更加說明了是粒子分析隻能測（cè）試出某一段粒徑（jìng）之間而絕不是（shì）細到（dào）每一粒徑的;

4. IEST的（de）測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃（nóng）度就可以了,而對於高要求的（de）U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或（huò）者0.2um-0.3um兩組（zǔ）中的（de）更加不利的那一個數據.但（dàn）是並不（bú）需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對（duì）於現場中的DOP檢測（cè）,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因（yīn）此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實驗室要求低了。

對於（yú）大部分的項目而言,還是使（shǐ）用H14以上的（de）高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方法

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試（shì）方法上（shàng）麵已經（jīng）有說明,總體而言（yán）就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際的（de）結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區間（jiān）的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提（tí）到（dào）了統計學相關（guān）知識,包（bāo）括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準（zhǔn）差