荊州hepa高效過濾器（qì）

其實（shí）很多人對於高效過濾器的了解還是停留（liú）在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高（gāo）效F9+末端的高效H14，但（dàn）是對於高效過濾器的（de）一（yī）些特性還是不太了解（jiě）的！

比如效率為針對0.3um的粒（lì）子其濃度不低於99.97%為美（měi）國（guó）的A級別高效過濾（lǜ）器,這句（jù）話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思（sī）考！

比如MPPS方（fāng）法（fǎ）介紹的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的（de）尺寸（cùn）是什麽？

下麵的內容則是我自己（jǐ）以（yǐ）前整理的一些筆（bǐ）記，針對（duì）高效過濾器的一些詳細介紹（shào）。

不太懂的就（jiù）看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使（shǐ）用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準（zhǔn）。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效（xiào）率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下（xià）信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中（zhōng）徑,也就是所（suǒ）有的氣（qì）溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為（wéi）IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實這（zhè）個（gè）規定要求的是質量中（zhōng）徑在0.3um的氣溶（róng）膠群,也就是氣溶膠（jiāo）是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群體,而（ér）絕不是單一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小（xiǎo）於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒（lì）們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占（zhàn）有的數（shù）量權重雖然小,但是質量權（quán）重很大（dà）。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新（xīn）版（bǎn）的EN1822-2009把（bǎ）以前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以（yǐ）前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次試驗均要發單[準]分（fèn）散（sàn）相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來（lái）最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易（yì）穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴嘴噴（pēn）出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子（zǐ）,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也（yě）就是計（jì）算（suàn）結果和粒（lì）徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對（duì）某一個粒徑的而是（shì）針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾（lǜ）速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有（yǒu）粒（lì）子總數。這裏（lǐ）所隱含（hán）的條件是氣溶膠的發塵應（yīng）該正好落在這個範圍之內,而且粒（lì）徑的中值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過（guò）10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹（gàn）種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自（zì）由噴（pēn）射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移（yí）過（guò）濾（lǜ）為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以（yǐ）看出他們使用的是第一種和第（dì）二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後（hòu）麵四（sì）種進行測試，更加合理優越。不（bú）過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工（gōng）廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果（guǒ）是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的（de）粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是（shì）這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各（gè）種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽（me）認為了。

對（duì）於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的（de）時候要求同時測粒子粒徑分布（bù）和數量（liàng）。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個（gè）範圍的最（zuì）大值（zhí）與（yǔ）最小值之比為2.5.因此在（zài）EN1822-5的要（yào）求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範（fàn）圍或者部分。這（zhè）是因（yīn）為實際的（de）光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所（suǒ）以實際的結果是大（dà）部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為計量基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的（de）分段上任選一組（zǔ）作為劑量範圍.因此實（shí）際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這（zhè）三種情況下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學（xué）粒子分析儀（yí）,應該可以在其中三個分段（duàn）裏麵（miàn）任選一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的（de）粒子分析（xī）儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采（cǎi）用第二種分段發可（kě）以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值作（zuò）為劑量標準（zhǔn）。

以上是（shì）對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法（fǎ）

一般有（yǒu）兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光（guāng）度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別（bié）是在現場的時候；

另外一種是（shì）用粒子計數器（qì）或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑（jìng）都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也（yě）能分析的一清二楚. 因此實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種（zhǒng）不（bú）同的粒徑,通過畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測（cè）試。因（yīn）此其（qí）實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒（lì）徑,所（suǒ）以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而（ér）絕不是細（xì）到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以（yǐ）了,而對於（yú）高要求的（de）U15以上要求用粒（lì）子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的更加不利的那一個數據.但是（shì）並不需要先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於（yú）0.3um的要求了。因（yīn）此要（yào）求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對（duì）於大部分的項目而言,還（hái）是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於（yú）H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說（shuō）明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區（qū）間粒（lì）徑的數（shù）量;

6:對測試結果的（de）分析

由於（yú）現（xiàn）場測試（shì）的隻能是樣本（běn）,而且不可能全部都測.因（yīn）此實際（jì）的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果（guǒ）。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括泊（bó）鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準（zhǔn）差