南昌hepa高效過濾（lǜ）器（qì）

其實很多人對於高效過濾（lǜ）器的了解還是（shì）停留在表麵上的，

比（bǐ）如隻知道潔（jié）淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端（duān）的高效H14，但是對於（yú）高效過濾器（qì）的一些特（tè）性（xìng）還是不太（tài）了解的（de）！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國（guó）的A級別高效過濾器,這句話的詳細意（yì）思其實並沒有多少人思考（kǎo）！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的（de）一些筆記，針對高效過（guò）濾器的一（yī）些詳（xiáng）細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字（zì）就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說（shuō）起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持（chí）續優（yōu）化自身規範和標準

目前（qián）國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分（fèn）項目緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定（dìng）對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可（kě）以,也就是（shì）H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透（tòu）率可以是整體（tǐ）的5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就（jiù）是所有（yǒu）的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質（zhì）量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的（de）要求.其實這個規定要求的是質量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶（róng）膠（jiāo）群體,而絕不是單一粒徑（jìng）的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子大於這（zhè）個（gè）值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大（dà）顆粒（lì）的粒子（zǐ）占有的數量權重雖然小,但是質量權重（chóng）很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似（sì），不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不（bú）同（tóng）於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底是多（duō）少,是需要對某一種濾料,比如某（mǒu）一種玻璃纖維（wéi）做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均（jun1）要（yào）發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最（zuì）後用曲線做出來最低點。根據現（xiàn）在EN1822的統計,絕（jué）大（dà）部分（fèn）的最易穿透的粒子（zǐ）粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從（cóng）商業角（jiǎo）度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴（zuǐ）噴出的氣溶膠粒徑不可能保證（zhèng）為唯（wéi）一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的（de）是這個標準差和粒徑（jìng）大小沒有直接關係，也就是計算（suàn）結果和粒徑沒有關係（xì）.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認（rèn）為MPPS的粒徑（jìng）大小在測試的時（shí）候不是針對某一個粒徑的而是針對一（yī）個區（qū）間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現（xiàn）場測試的時候要求測（cè）試一個區間範（fàn）圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定（dìng）濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集（jí）MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣（qì）溶膠的（de）發塵應該正（zhèng）好落（luò）在這（zhè）個範圍之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和（hé）同凝（níng）結發塵（chén）,在DPMS的幫助下可以保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓（yā）縮空氣多分散熱（rè）發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生（shēng）器 單分散相（xiàng）異凝（níng）結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式（shì）氣溶（róng）膠發（fā）生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度比;而歐盟（méng）采用後麵四種進（jìn）行（háng）測試，更加合理優越。不（bú）過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是一個範圍（wéi）。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加（jiā）起來（lái）作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是（shì）符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的（de）時候是不計量（liàng）粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意（yì）的是單分（fèn）散相也不是真正的單（dān）分散相還是有各種粒（lì）徑（jìng）分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽（me）認為（wéi）了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布（bù）和（hé）數量。需要注意的是在上下（xià）遊收集的時候,在MPPS已（yǐ）經知道的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與（yǔ）最（zuì）小值（zhí）之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的（de）全部（bù）範圍（wéi）或者部分。這是因（yīn）為實際的光學粒（lì）子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為（wéi）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部（bù）分廠家（jiā）或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的（de）總數作為計量基（jī）礎。

根（gēn）據EN1822要求,最好的測量（liàng）範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任（rèn）選一（yī）組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情（qíng）況下進行（háng）計（jì）量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該（gāi）可以在其中三個分段裏麵任選一個並且選擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用（yòng）第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計,它不（bú）能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時（shí）候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒徑（jìng）也可以測數量（liàng）。不過需要說明的是不能認為它什（shí）麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而（ér）不是大家想象的什（shí）麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一（yī）清二楚. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間（jiān）的。上麵已經說過了。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出（chū）來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種方法隻（zhī）能用單分散相的粒子發生器來測試（shì）。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之（zhī）間的粒徑,所以（yǐ）這更加說明（míng）了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每（měi）一粒（lì）徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可（kě）以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計（jì）數（shù）器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一（yī）個（gè）數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發塵,由於其屬於（yú）多分散相，因此其實導致的結果就（jiù）是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試（shì）質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上（shàng）的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一（yī）段（duàn）區間（jiān）粒徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的分析

由於現（xiàn）場測（cè）試的隻能是樣本,而（ér）且不可能全部都測.因（yīn）此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間（jiān）的（de）結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並（bìng）且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信（xìn）區間/標準差/幾何標準差