南（nán）寧hepa高效（xiào）過濾器

其實很多人對於（yú）高效（xiào）過濾器的了解還是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高（gāo）效過濾器的一些（xiē）特性還是不太了解的！

比如效率為針（zhēn）對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美（měi）國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思其（qí）實並沒有多少（shǎo）人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內容（róng）則是我自（zì）己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹（shào）。

不太懂的就看（kàn）黑體（tǐ）字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的（de）HEPA 的使用來（lái）源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標（biāo）準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內（nèi）大部分（fèn）項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於局部穿透率可（kě）以是整體的5倍這當（dāng）然是（shì）在（zài）MPPS 的粒徑考（kǎo）慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的（de）是粒子（zǐ）質量中徑（jìng）,也（yě）就是所有的氣溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此（cǐ）不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規（guī）定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠（jiāo）群,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範（fàn）圍內的氣溶膠群體,而絕（jué）不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也（yě）就是有50%的粒子（zǐ）大於這個（gè）值.50%的粒子（zǐ）小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們（men）其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因此（cǐ）在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等（děng）同於EN1882的MPPS的顆粒（lì）直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要（yào）對某一種（zhǒng）濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試（shì）驗。每次試驗均要發（fā）單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲（qǔ）線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕（jué）大部分（fèn）的最易穿透（tòu）的粒子粒徑（jìng）在0.1um-0.25um之間的（de）某一個值。從商業（yè）角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠（jiāo）粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標（biāo）準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小（xiǎo）在測試的（de）時候不是針對某一（yī）個粒徑的而是針對一個（gè）區間的（de）。這個也（yě）就是（shì）為（wéi）什麽MPPS在實際（jì）現（xiàn）場測試的時候（hòu）要求（qiú）測試一個區間範圍內的（de）所（suǒ）有粒子數量總和;同時也要（yào）說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明（míng）確額定（dìng）濾速是多（duō）少.

5).對（duì）於實際（jì）的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有（yǒu）粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵（chén）應該正好落在這個範（fàn）圍之內,而且粒徑（jìng）的中值CMD應該正（zhèng）好等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定（dìng）偏差不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生（shēng）器（qì）

氣溶（róng）膠（jiāo）發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多（duō）分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空（kōng）氣多分散冷發（fā）塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單（dān）分（fèn）散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異（yì）凝結 1.05

自由噴射凝結（jié）式氣溶膠發生器 準單分散相（xiàng）自凝（níng）結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國（guó）的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光（guāng）度儀測（cè）試質量（liàng）濃度比;而歐（ōu）盟（méng）采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑（jìng）值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考（kǎo）慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的（de）說法,如果是采用（yòng）單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽（me）回事（shì）了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要（yào）求同時測粒子粒徑（jìng）分布（bù）和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉（jǔ）例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一（yī）般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小（xiǎo）值之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有（yǒu）一（yī）個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數（shù）作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試（shì）可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計（jì）量（liàng）。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一（yī）個並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子（zǐ）分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大（dà）部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采（cǎi）用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也（yě）就（jiù）是0.1um-0.2um之（zhī）間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與（yǔ）說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測（cè）定質量濃度的（de）光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特（tè）別是在現（xiàn）場的時（shí）候；

另外一種（zhǒng）是用粒子計數器或者粒徑分析（xī）計數器,它既可以測（cè）粒徑也可（kě）以測數量。不過需要（yào）說明的是不能認為（wéi）它什麽粒徑都（dōu）能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際（jì）的接收粒子MPPS是在一段粒徑（jìng）之間的。上麵已經說過了。

這是因（yīn）為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點（diǎn）是曲（qǔ）線（xiàn）找出來的,而不（bú）是實際測（cè）出來的。規（guī）定要求（qiú）測至少六種不同的粒徑,通過畫（huà）曲線的方法（fǎ）找到最低點MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因（yīn）此其實（shí）找到的不（bú）是單一（yī）粒徑,而是一個區間（jiān）;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以（yǐ）這更加（jiā）說明了是（shì）粒（lì）子分析隻（zhī）能測試出某一段粒徑（jìng）之間而絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃度（dù）就可以了,而對於高要（yào）求的U15以上要（yào）求用（yòng）粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個（gè）數（shù）據.但是並不需要先檢測出（chū）MPPS值。

對（duì）於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致（zhì）的（de）結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量（liàng）濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因（yīn）為這裏（lǐ）的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對（duì）於大部分的項目而（ér）言,還是使用H14以上的高效（xiào）比較保險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於（yú）H10以上的就（jiù）需要測試MPPS了,對（duì）於測試方法上麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑（jìng）的數量;

6:對測（cè）試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而（ér）且不可能全（quán）部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信（xìn）區間的結（jié）果。

參考資料（liào）

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準差