清（qīng）遠hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾（lǜ）器的了解還是停留（liú）在表麵上（shàng）的，

比如隻知道潔淨室（shì）要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的粒子其濃（nóng）度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾（lǜ）器,這句話的詳細意思其實並沒有（yǒu）多（duō）少人思考！

比如（rú）MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則（zé）是我自己以前整理的一些筆（bǐ）記，針對高效（xiào）過濾器的一些詳（xiáng）細（xì）介紹。

不太懂的就看黑體字就（jiù）可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的（de）HEPA 的使用來源於美國軍方（fāng）, 為（wéi）MIT相關（guān）標準。其後歐（ōu）洲持續優化（huà）自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大（dà）部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的（de）顆（kē）粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看（kàn）到如下信息:EN1882對於局部（bù）穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下（xià）;
IEST描述
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析（xī）如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠（jiāo）粒徑分布當中（zhōng）50%的（de）質量大於這個值（zhí）,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個（gè）規定要求的是質量（liàng）中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單（dān）一粒（lì）徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒（lì）子大於這個值.50%的粒子小於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的（de）數量權重雖然小,但是質量權重很（hěn）大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的（de）MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的（de）E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是（shì）需要對某一種濾料,比如某一種玻（bō）璃纖維做實（shí）驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗（yàn）。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿（mǎn）整體的（de）0.1-0.5um的區間。最（zuì）後用（yòng）曲線做出來最低點。根（gēn）據現在EN1822的統計,絕大部分（fèn）的（de）最易穿（chuān）透的粒子粒徑在（zài）0.1um-0.25um之間的某（mǒu）一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒（lì）子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也就是計算結果和（hé）粒徑沒有關係.因此（cǐ）草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認（rèn）為MPPS的粒（lì）徑大（dà）小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要（yào）求測試一個區間範圍內的（de）所有粒子數量總和;同時也要（yào）說明的（de）是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明（míng）確額定濾速是多少.

5).對於實（shí）際的MPPS測試（shì）,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有（yǒu）粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的（de）發塵應該正好落在這個範圍（wéi）之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生（shēng）器可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和（hé）冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒（lì）徑發（fā）出。

壓縮空（kōng）氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶（róng）膠發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結（jié） 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自（zì）凝結 σ=1.5

氣（qì）溶膠發塵（chén）+DPMS 多分散電移（yí）過濾為（wéi）單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光度儀測試質量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更（gèng）加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒（lì）子在測試效率的（de）時候是不計量粒子（zǐ）分（fèn）徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數量加（jiā）在一起就可以作（zuò）為（wéi）上（shàng）下（xià）遊分別的粒子計數（shù）了。但是這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不是真正的單（dān）分散（sàn）相還是有各種粒徑分（fèn）布的。隻要標準差小於1.5就可以（yǐ）這（zhè）麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注（zhù）意的（de）是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者（zhě）部分粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或（huò）者測試方最終的（de）計數結果0.1um-0.2um之間的總（zǒng）數作為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要求,最（zuì）好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以（yǐ）要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍（wéi）.因此實際的測試可以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量。

考慮到實際（jì）的光學粒（lì）子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根（gēn）據實際的粒（lì）子分析儀來。實際的工程結（jié）果是選擇0.1-0.2um之間的（de）。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作為劑量標準。

以上是對（duì）多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一（yī）種是用於測定質量（liàng）濃度的光度計,它不能（néng）計數（shù）。因此可以用在DOP方（fāng）法測試H13和H14上麵特別是（shì）在現場的（de）時候；

另外一種是用粒子計數器或者（zhě）粒徑分析計數器,它既可以（yǐ）測（cè）粒（lì）徑也可以測（cè）數量。不過需要說明（míng）的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家想象的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣（yàng）的粒徑也能分析的（de）一清二楚. 因此（cǐ）實際的接（jiē）收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線（xiàn）找出來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至少六種不（bú）同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑（jìng）,而是一個區間;

並且（qiě）在EN1822-4和（hé）EN1822-5裏麵已經（jīng）要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕（jué）不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法（fǎ）

對於H13和H14,IEST要求對於其測試（shì）質量濃度（dù）就可以了,而對於高要求的U15以上要求（qiú）用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加（jiā）不利的那一個數據.但是並不需要先檢測（cè）出MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多（duō）分（fèn）散相，因此其（qí）實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏的結（jié）果已經（jīng）比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言（yán）,還是使用H14以上的（de）高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體（tǐ）而言就是測包含MPPS的一段區（qū）間粒徑的（de）數量;

6:對測試結果的分析

由於現場（chǎng）測試（shì）的隻能是樣（yàng）本,而且不可（kě）能全部都測.因此實（shí）際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置（zhì）信區（qū）間的結果（guǒ）。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信（xìn）區間/標準差（chà）/幾何標準差