泉（quán）州hepa高效過濾器（qì）

其實很多（duō）人（rén）對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道（dào）潔淨室要安裝（zhuāng）初效G4+中效F5+中（zhōng）高效F9+末（mò）端（duān）的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度（dù）不低於99.97%為美國（guó）的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自己以前整理的一（yī）些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字（zì）就可以了（le）！！！！

1.從HEPA高效過濾器效率（lǜ）說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過（guò）濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐洲（zhōu）持續（xù）優化自（zì）身規（guī）範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中（zhōng）國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透（tòu）率可以是整體的5倍（bèi）這當然是（shì）在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述（shù）
針（zhēn）對以上（shàng）的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的（de）MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量（liàng）中徑在0.3um的（de）氣溶膠群（qún）,也就是氣溶膠是單分散相或者（zhě）多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中（zhōng）徑,也就是有50%的粒子大於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在（zài）0.2um.這是因為大顆粒的粒子（zǐ）占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質量權（quán）重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效（xiào）係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾（lǜ）料,比如某一種玻璃纖（xiān）維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相（xiàng）或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最（zuì）後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分（fèn）的最易穿透（tòu）的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣溶膠發（fā）生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可（kě）能（néng）保證為唯一（yī）粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒（lì）徑（jìng）大小沒有直（zhí）接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可（kě）以認為（wéi）MPPS的粒徑大小在測試（shì）的時候不是針對某一個粒徑的而（ér）是針對一個區間的。這個也（yě）就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要（yào）求測試一個區間範（fàn）圍內的所有粒子數量總和;同時（shí）也要（yào）說明的是不同的過濾（lǜ）風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試（shì）,一般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍（wéi）之（zhī）內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在（zài）這個範圍之內,而且粒徑的中（zhōng）值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵（chén）和冷發塵,異凝結發塵和同凝結（jié）發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保證有單（dān）分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散（sàn）相異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶膠發生器 準單分散相（xiàng）自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分（fèn）散電移過濾為單分（fèn）散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使（shǐ）用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量（liàng）濃度比;而歐盟采（cǎi）用後麵四（sì）種進行（háng）測試，更加（jiā）合理優越（yuè）。不過（guò）問題（tí）在於（yú）MPPS不可（kě）能直（zhí）接測量一個粒徑（jìng）值。其實是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來（lái）作為MPPS的數量考慮應該（gāi）是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效（xiào）率的時候是不計量粒子（zǐ）分徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分（fèn）別的粒子計數了（le）。但是這裏要注意的是單分散相也不是（shì）真正的單（dān）分散相還（hái）是（shì）有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要（yào）標（biāo）準差小於1.5就可（kě）以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽（me）回事了。因為標準（zhǔn）差大於1.5，因此在進行測試的時（shí）候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已（yǐ）經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即（jí）可。

舉例（lì）來說明:現在EN已經發現MPPS粒（lì）子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的（de）最大值與最小值之（zhī）比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的（de）光學粒子計數器有一個測（cè）量精度問題。大家知道的一般是測（cè）量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結（jié）果0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求（qiú）,最好的測量範（fàn）圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要（yào）求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一（yī）組作為（wéi）劑量範圍.因此實際的測試可（kě）以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下（xià）進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該可以（yǐ）在其中三個分段裏麵任選一個並且選（xuǎn）擇全部的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也就是0.1um-0.2um之間的值作為（wéi）劑量標準。

以上是對多分散粒（lì）子測試時候的分析與說明。

3:接收（shōu）方法

一般有兩種方法。

一種是用於（yú）測定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以（yǐ）用在DOP方法測（cè）試H13和H14上麵特別是在（zài）現場的時候；

另外一（yī）種是用粒（lì）子計數器或者粒徑分析計數器,它既（jì）可以測（cè）粒徑也可以測數量。不過需要說明的（de）是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分段測粒徑（jìng）。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過（guò）了（le）。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實（shí）際測出來的。規定要求測至少六（liù）種不同的粒徑,通過畫曲線（xiàn）的方（fāng）法找到最低點MPPS。這種方法隻能用（yòng）單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區（qū）間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑（jìng）,所以這更加說明了是粒（lì）子分析隻能測試出某一段粒徑之間而（ér）絕不（bú）是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可（kě）以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接（jiē）讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但（dàn）是並不需要（yào）先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使（shǐ）用TFI的冷（lěng）發塵,由於其屬於多分散相，因（yīn）此其實導致的結果就是（shì）CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求（qiú）了。因此要求現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果（guǒ）已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對（duì）於大部分的（de）項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方（fāng）法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對（duì）於測試方法（fǎ）上麵已（yǐ）經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果（guǒ）的分析（xī）

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部（bù）都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且（qiě）在資料（liào）當中提（tí）到了統計學相關知識,包括泊鬆分（fèn）布/95%置信區間/標準差/幾何標準差（chà）