三明hepa高效過濾器
其實很多（duō）人對於高效（xiào）過濾器的了解還（hái）是（shì）停留在表麵上的，
比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效（xiào）過濾器（qì）的一些特性還是不太了解的（de）！
比如效率為針對（duì）0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句（jù）話的詳細意思其實並沒有多少人思考！
比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺寸是什麽？
下麵的內（nèi）容則是我自己（jǐ）以前整理的一些（xiē）筆記，針對（duì）高效過濾（lǜ）器的一些詳細介紹。
不太懂的就看黑體字就可以了（le）！！！！
1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起
HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器（qì）
最早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和標準
目前國家上通行的（de）是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。
IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒（lì）的整體（tǐ）效率不低（dī）於99.97%為高效（xiào）;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於（yú）99.95%的就可以,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中（zhōng）可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然（rán）是在MPPS
的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分（fèn）析如下:
1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中（zhōng）徑,也就是（shì）所（suǒ）有的氣溶膠粒（lì）徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.
因（yīn）此不要（yào）認（rèn）為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其（qí）實這個（gè）規定要求的（de）是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單（dān）分散相或者多分（fèn）散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;
2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這個（gè）值.50%的粒子小（xiǎo）於這個值。MMD=0.3um的顆（kē）粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占（zhàn）有的數量權重雖然小,但是質（zhì）量權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大（dà）致等同（tóng）於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全（quán）等同。
3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同（tóng）於以前的EN1822-2000;
4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少（shǎo）做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布（bù）滿（mǎn）整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最（zuì）低（dī）點。根據現在（zài）EN1822的統計,絕大部分的（de）最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間（jiān）的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒（lì）徑不可（kě）能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒（lì）徑（jìng）大小沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個（gè）也就是為什麽MPPS在（zài）實際現（xiàn）場（chǎng）測試的時（shí）候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.
5).對於實際的MPPS測試,一般要求收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣（qì）溶（róng）膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒（lì）徑（jìng）的中值CMD應該正好（hǎo）等於MPPS[理想化],EN1822規（guī）定偏差不能超過10%;
2.氣（qì）溶膠（jiāo）發生器
氣溶膠發生器可以分為若幹種,如（rú）熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發（fā）塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。
壓縮空（kōng）氣多分散熱發（fā）塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM
空氣多分散冷發塵（chén） MMD=0.6UM CMD=0.4UM
Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分（fèn）散相異（yì）凝結 1.05
Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05
自由噴射凝結式氣（qì）溶膠發生器 準單分散（sàn）相自凝結 σ=1.5
氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾（lǜ）為單分散相（xiàng） σ=1.1不穩定
從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種（zhǒng）和第二種,用光度儀測試質（zhì）量（liàng）濃度比;而歐盟采用後麵四種（zhǒng）進行測試，更加合理優越。不過問題（tí）在於MPPS不（bú）可（kě）能直接測量一個粒徑（jìng）值。其實是一個範圍（wéi）。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。
根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試（shì）效率的（de）時候是不計量粒子分徑的。直接把所（suǒ）有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分別的（de）粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散（sàn）相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。
對於多分散相就不是這麽回（huí）事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經（jīng）知道的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部或者部分粒子數量即（jí）可。
舉例來說明:現（xiàn）在EN已經（jīng）發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小（xiǎo）值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好（hǎo）取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個（gè）測（cè）量精度（dù）問題。大家知道的一般（bān）是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際（jì）的結果是（shì）大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的（de）總數作為計量基礎。
根據（jù）EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也（yě）可以要求（qiú）在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量（liàng）範（fàn）圍.因此實際的測（cè）試（shì）可以在
MPPS/1.5-MPPS*1.5
MPPS/2-MPPS*1.5
MPPS/1.5-MPPS*2
這三種情況下進行計量（liàng）。
考慮到（dào）實際的光學粒子分析儀（yí）,應該可以在其中三個分段裏（lǐ）麵任選一個並且（qiě）選擇全部的（de）粒子或者部分的粒子。到底怎（zěn）麽選根據實際的粒子分析儀來（lái）。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的（de）樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間（jiān）的值作（zuò）為劑量標準（zhǔn）。
以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。
3:接收方法
一般有兩種方法。
一種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特（tè）別是在現場的時候；
另外一種是用粒子計（jì）數器或者（zhě）粒徑分析（xī）計數器（qì）,它（tā）既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是（shì）大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒（lì）徑之間的。上麵已經說過了。
這是（shì）因（yīn）為EN1822-3對（duì）於濾料測試（shì）的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲（qǔ）線的方法（fǎ）找到最低點MPPS。這（zhè）種方法（fǎ）隻能用單分散（sàn）相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是（shì）單一粒徑,而是（shì）一個區間;
並且（qiě）在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;
4. IEST的測（cè）試方（fāng）法
對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就（jiù）可以了,而對於高（gāo）要求的U15以上要求用粒子計數（shù）器,並（bìng）且（qiě）直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中（zhōng）的更加不利的那一個數據.但是並不需（xū）要先檢測出（chū）MPPS值（zhí）。
對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用（yòng）TFI的冷發塵（chén）,由（yóu）於其屬（shǔ）於多分散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要（yào）求了。因此要求（qiú）現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了（le）。
對於（yú）大部分的項目而（ér）言,還是使用H14以上的高效比較保險。
5. EN1822測試方法
對於H10以上的就需要測試（shì）MPPS了,對於測試方法上麵（miàn）已經有說明,總體而言就是測包（bāo）含MPPS的一段區間粒徑的數量;
6:對測試結果的分析
由於（yú）現場測試的隻能是樣本,而且不可能（néng）全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。
參考資料
IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識（shí）,包括泊鬆分布/95%置（zhì）信區間/標準（zhǔn）差/幾何標（biāo）準差
