三亞hepa高效過濾器

其實（shí）很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵（miàn）上的，

比如隻知道潔（jié）淨（jìng）室要安裝初效（xiào）G4+中效F5+中高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的一些特性還是不太了解的！

比如效（xiào）率為針對（duì）0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的（de）A級別高（gāo）效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思（sī）考！

比如MPPS方法介紹（shào）的H14或者U15過濾器的測試粒子的尺（chǐ）寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己（jǐ）以前整理的一些筆記，針對（duì）高效過濾器的一（yī）些（xiē）詳細介紹。

不太懂的（de）就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早的HEPA 的使用來源於美國（guó）軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標準

目前國（guó）家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對於（yú）MMD=0.3um的顆粒的（de）整體（tǐ）效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在（zài）MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對（duì）於局部穿透率可（kě）以（yǐ）是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針對以上（shàng）的兩張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒（lì）子質量中徑,也就是所有的氣（qì）溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認（rèn）為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者（zhě）@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要（yào）求（qiú）.其實這個規（guī）定要求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就（jiù）是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠（jiāo）群（qún）體,而絕不是單（dān）一粒徑的0.3um的（de）氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒（lì）子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大（dà）於這（zhè）個值.50%的粒子小（xiǎo）於這（zhè）個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這（zhè）是因為（wéi）大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其（qí）實大致等同於EN1882的MPPS的顆（kē）粒直徑.這（zhè）裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為（wéi）HEPA的分類劃（huá）入高效係列（liè）,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是多少,是需要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實（shí）驗室測試的。需要至少做5次（cì）重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者（zhě）多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點（diǎn）。根據現在EN1822的統（tǒng）計,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言（yán）,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散。需要注意的是（shì）這個（gè）標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可以認為（wéi）MPPS的粒徑大小在測試（shì）的時候不是針對某一個（gè）粒徑的（de）而是針（zhēn）對一個區間的（de）。這個也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時（shí）候（hòu）要求測試一個（gè）區間範圍內（nèi）的所（suǒ）有粒子數量總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前（qián）需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範（fàn）圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該（gāi）正好落在這個範圍之內,而且粒徑（jìng）的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵（chén）和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以（yǐ）保證有單分散相粒徑發出（chū）。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣（qì）溶膠發生器 單分散相異凝結（jié） 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣（qì）溶膠發生（shēng）器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從美（měi）國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理（lǐ）優越。不（bú）過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實（shí）是一（yī）個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數量（liàng）全部加起來作為（wéi）MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的（de）說法,如果是（shì）采（cǎi）用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑（jìng）的。直接把（bǎ）所有的粒子數量加在一起就可以作為（wéi）上（shàng）下遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真（zhēn）正的單分散相還是有各種粒徑分布的（de）。隻要標準差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了（le）。

對於（yú）多（duō）分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此（cǐ）在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段（duàn）裏麵的全部（bù）或者部（bù）分粒子數量（liàng）即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的（de）要求下,最好取（qǔ）MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問（wèn）題。大家知道的一般是（shì）測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間（jiān）的總數作為計量基礎。

根據EN1822要（yào）求,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規（guī）範也可以（yǐ）要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上（shàng）任選一組作為劑量範圍.因此實（shí）際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以（yǐ）在其中三個分段裏麵（miàn）任選一個並且（qiě）選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒（lì）子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子（zǐ）,因此采用第二種分（fèn）段發可以在0.09um-0.27um之間（jiān）選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為（wéi）劑量標準。

以上是對多分散粒子測（cè）試時候的分析與說明（míng）。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測定質量濃度的光度計（jì）,它不能計數。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上麵特別是在現場的時（shí）候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器（qì）或者粒徑分（fèn）析計（jì）數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不（bú）能認為它什麽粒徑都能測,它一般隻能分（fèn）段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一（yī）清二楚. 因此實（shí）際的接收粒（lì）子（zǐ）MPPS是（shì）在一段粒徑之間的。上（shàng）麵已經說過了。

這（zhè）是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出（chū）來的,而不是實際測出來（lái）的。規定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到最低點（diǎn）MPPS。這種（zhǒng）方法隻能用單分散（sàn）相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是（shì）單一粒徑,而是（shì）一（yī）個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這更（gèng）加說明了是粒子分析隻能測試出某（mǒu）一段粒徑之（zhī）間而絕不是（shì）細到每一粒徑的;

4. IEST的測試（shì）方法

對於H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利（lì）的那一個數據.但是並不需要（yào）先（xiān）檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此（cǐ）其實導致的結果就（jiù）是CMD在（zài）0.4um,MMD在0.7um,已經大（dà）於0.3um的要求了。因此要求現場的（de）測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為（wéi）這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部（bù）分的項目而言,還是使用（yòng）H14以上（shàng）的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以（yǐ）上（shàng）的就需要測試（shì）MPPS了,對於（yú）測試（shì）方法上（shàng）麵已經有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結（jié）果的分析

由於現場測（cè）試的（de）隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析（xī）采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊鬆（sōng）分（fèn）布/95%置信區間/標準差/幾何標準差