商洛hepa高效過濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的（de）高效H14，但是對於高效過濾器（qì）的一些特性（xìng）還是不太（tài）了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思（sī）其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介（jiè）紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的一些筆記（jì），針對高（gāo）效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早（zǎo）的HEPA 的使用（yòng）來源於美國軍方（fāng）, 為（wéi）MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規範和標（biāo）準

目（mù）前國家上（shàng）通行（háng）的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中（zhōng）國國內（nèi）大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的（de）顆粒的整體效率不低（dī）於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下通（tōng）過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從（cóng）圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒徑考慮（lǜ）之下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩張表格,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就是所有的氣溶膠粒徑分（fèn）布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於（yú）這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的（de）是質量（liàng）中徑（jìng）在0.3um的氣溶（róng）膠群,也（yě）就是（shì）氣溶膠是（shì）單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體,而絕不是單（dān）一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒子大（dà）於這個值.50%的粒（lì）子（zǐ）小（xiǎo）於這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們其（qí）實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的（de）數量權（quán）重雖然小,但是質量權（quán）重很大。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大（dà）致（zhì）等同於（yú）EN1882的MPPS的顆粒直（zhí）徑（jìng）.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全等（děng）同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃（huá）入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是（shì）多（duō）少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維（wéi）做實驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者（zhě）多分散相的粒子（zǐ）,布（bù）滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的（de）統計,絕大（dà）部分的最易穿透的（de）粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之間的某一個（gè）值。從商業（yè）角度而（ér）言,氣（qì）溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證（zhèng）為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接（jiē）關係，也就是（shì）計（jì）算結果和粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频（men）可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對（duì）一個區間（jiān）的。這個也就是（shì）為什麽MPPS在實際現（xiàn）場測試（shì）的時候要求測試一個（gè）區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總和;同時也要說明的是不同（tóng）的過濾風速（sù）下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定（dìng）濾速是（shì）多少.

5).對於實際的MPPS測試,一（yī）般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所（suǒ）有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該（gāi）正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差（chà）不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分（fèn）為若（ruò）幹種,如熱發塵和冷發塵（chén）,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保（bǎo）證有單分散相粒徑發出（chū）。

壓縮空氣多分散熱發（fā）塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分（fèn）散相異凝（níng）結（jié） 1.05

自（zì）由噴射凝結式氣溶膠發生器（qì） 準單分散相（xiàng）自凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵（chén）+DPMS 多分散（sàn）電移過濾（lǜ）為單分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是（shì）第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不（bú）過問題在於（yú）MPPS不可（kě）能直接（jiē）測量一個粒徑值（zhí）。其實是一個範圍（wéi）。很（hěn）多工廠（chǎng）直接把0.1-0.2um之間的粒子數量全部（bù）加起來作（zuò）為MPPS的數量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分（fèn）散相粒子在測試效率的時候是不計（jì）量粒子分徑的。直接（jiē）把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒（lì）子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測（cè）試的時（shí）候（hòu）要求同時測粒子（zǐ）粒徑分布和數量。需要注意的是在上（shàng）下遊收集的時候（hòu）,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要（yào）測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分粒（lì）子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大（dà）值與最小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是（shì）因為實際的光學（xué）粒子計（jì）數器有一個測量精度問題。大家（jiā）知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結（jié）果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可（kě）以（yǐ）在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計（jì）量。

考（kǎo）慮到實際的光學粒子分析儀,應該（gāi）可以在其中三個分（fèn）段裏麵任選一個並且選（xuǎn）擇全部（bù）的粒子或者部分的粒子。到底怎麽選（xuǎn）根據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之（zhī）間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以（yǐ）在0.09um-0.27um之（zhī）間選擇部分也就（jiù）是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析（xī）與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用於測（cè）定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測試H13和H14上麵特別是在現（xiàn）場的時候；

另（lìng）外一種是用粒子計數器或者粒徑分析（xī）計數器,它既可以測粒徑（jìng）也可以測數量。不過需要說明的是不（bú）能認為（wéi）它什麽粒徑都能測,它一般隻（zhī）能分段測粒徑（jìng）。比如（rú）0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象（xiàng）的（de）什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二楚（chǔ）. 因（yīn）此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過（guò）了。

這是因為（wéi）EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而不是實際測出來的（de）。規定要求測至（zhì）少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個（gè）區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所（suǒ）以這更加說（shuō）明了是粒子分析隻能測試出某一段粒（lì）徑之間而絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於（yú）H13和H14,IEST要求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取（qǔ）0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更（gèng）加不利的那（nà）一個數據.但是並（bìng）不需要先檢測出MPPS值。

對（duì）於現場中（zhōng）的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分（fèn）散相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大（dà）於（yú）0.3um的要（yào）求了。因此要求（qiú）現場的測（cè）試質量濃度比為99.99%@H13H14是合（hé）理的（de）.因為這裏的結果已（yǐ）經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目（mù）而言,還是（shì）使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測（cè）試方（fāng）法

對於H10以上的就需（xū）要測（cè）試MPPS了,對於測試方法上麵已（yǐ）經有說明,總體而言就是測包含（hán）MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際（jì）的（de）結（jié）果分析采用（yòng）了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差