深圳hepa高效過濾（lǜ）器

其實很多人對於高效過（guò）濾（lǜ）器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔（jié）淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的（de）一些（xiē）特性還（hái）是不太（tài）了解的！

比如效率為針對（duì）0.3um的（de）粒子（zǐ）其濃度不（bú）低於99.97%為美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或（huò）者（zhě）U15過（guò）濾器的測試粒子的尺寸是什（shí）麽？

下麵的內容則是我自己以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效過濾器的（de）一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早的HEPA 的（de）使（shǐ）用來源於美國軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身規（guī）範和（hé）標準

目前國家上通行的是（shì）IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目（mù）緊跟的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的（de）整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規（guī）定隻要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以（yǐ）,也就（jiù）是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如（rú）下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這（zhè）當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的兩張表格,分析（xī）如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑,也就（jiù）是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不（bú）要認（rèn）為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅僅是（shì）針對0.3um的（de）要求.其實這個規（guī）定要（yào）求的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群（qún）體（tǐ）,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子（zǐ）尺寸中徑,也就是有（yǒu）50%的粒（lì）子大（dà）於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒（lì）們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為（wéi）大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量（liàng）權重很大。因此在IEST上麵（miàn）說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏也僅僅是類似（sì），不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前（qián）的E10 E11 E12均作（zuò）為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是（shì）多少,是需要對某一種濾料,比如（rú）某一種（zhǒng）玻璃纖維做實驗（yàn）室測試的。需（xū）要（yào）至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準（zhǔn）]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最（zuì）低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不（bú）可能保證為唯一粒（lì）徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注（zhù）意的（de）是（shì）這（zhè）個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有直接關係，也（yě）就是計算結（jié）果和粒徑沒有關係（xì）.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測（cè）試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個（gè）區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試（shì）一個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數（shù）量總和;同時也要（yào）說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總（zǒng）數。這裏所隱含的條件（jiàn）是氣溶膠的發塵應該正（zhèng）好落在這個範圍之內（nèi）,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣（qì）溶膠發生器

氣溶膠發（fā）生器可以分為若幹（gàn）種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助（zhù）下可以保證有單分散（sàn）相粒徑發（fā）出（chū）。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠（jiāo）發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由（yóu）噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分（fèn）散相自凝結（jié） σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩（wěn）定

從美國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用（yòng）光度儀測試質量濃度比;而歐（ōu）盟采用（yòng）後麵四種進行測試（shì），更加合理優（yōu）越。不過問題在於MPPS不可能直接測量（liàng）一個粒徑（jìng）值。其（qí）實（shí）是一（yī）個範圍。很多工廠直（zhí）接把0.1-0.2um之間的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮應該是符合（hé）MPPS/1.5—MPPS*1.5這個（gè）範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相（xiàng）粒子在測試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為（wéi）上（shàng）下遊分別（bié）的粒子計數了。但（dàn）是這裏要注（zhù）意的是單分散相也不是真正的單分散相（xiàng）還是有各種粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為（wéi）了。

對於多分散相就不是這麽回事了（le）。因為標（biāo）準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集（jí）的時候,在MPPS已經知道（dào）的（de）情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或者部分粒子數量即可。

舉例來（lái）說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最（zuì）小（xiǎo）值（zhí）之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下（xià）,最（zuì）好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測（cè）量精度問題。大家知道（dào）的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部分廠家或者測試方最終的計數結果（guǒ）0.1um-0.2um之（zhī）間的總數作為計量基（jī）礎。

根據EN1822要求,最好（hǎo）的測量範圍（wéi）在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可（kě）以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選（xuǎn）一組（zǔ）作為劑量範圍.因（yīn）此實際（jì）的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實（shí）際的光學粒子分析儀,應該（gāi）可以在（zài）其中三個分段裏麵任（rèn）選一個並且選（xuǎn）擇（zé）全部的粒子或者部分的粒（lì）子。到底怎（zěn）麽（me）選根（gēn）據實際的粒子分析儀來。實際的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在（zài）0.09um-0.27um之間選擇部分也就是（shì）0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種是用（yòng）於測定質量濃度的光度計,它不能計數。因（yīn）此可以用在（zài）DOP方法測試H13和（hé）H14上麵特別是在現場的時候；

另外（wài）一（yī）種是用粒子計數器或者粒徑分析計（jì）數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說明的是不（bú）能認（rèn）為它什麽粒徑都能（néng）測,它一般隻能分段測（cè）粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想（xiǎng）象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑也能分析的一清二（èr）楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段（duàn）粒徑之（zhī）間的（de）。上麵已經說過（guò）了。

這是因為EN1822-3對於濾料（liào）測試的最低MPPS的點是曲線找出來的（de）,而不（bú）是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒（lì）徑,通過畫曲線的方法找到最（zuì）低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的（de）不（bú）是單一粒徑,而是一個（gè）區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏（lǐ）麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更（gèng）加說明了是粒（lì）子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕（jué）不是細到（dào）每一粒徑的;

4. IEST的（de）測試方法

對於H13和H14,IEST要（yào）求對於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求（qiú）用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩（liǎng）組（zǔ）中的更加不（bú）利的那（nà）一個數（shù）據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比為（wéi）99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了（le）。

對於大部分的項目而言,還（hái）是使（shǐ）用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上的（de）就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵（miàn）已經（jīng）有說明,總體而言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數（shù）量;

6:對測試結果的（de）分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全（quán）部都測.因此實際的結（jié）果（guǒ）分析采（cǎi）用了（le）泊鬆分布的95%置信區間的結（jié）果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中提到了統計學相關知識,包括泊（bó）鬆分（fèn）布/95%置（zhì）信區間（jiān）/標準差/幾何標準差