朔州hepa高效過濾器

其實很多人對於高（gāo）效過濾器（qì）的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對（duì）於高效過濾器的一些特性（xìng）還是（shì）不太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為美國的A級別（bié）高效過濾器,這句話的詳細意思其（qí）實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者（zhě）U15過濾器的測試粒子的尺寸（cùn）是什麽？

下（xià）麵的（de）內容則是我自己以前整（zhěng）理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳（xiáng）細（xì）介紹。

不太懂的就看黑（hēi）體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效過（guò）濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高（gāo）效過濾器

最早的HEPA 的使（shǐ）用來源於（yú）美國（guó）軍（jun1）方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續優化自身（shēn）規範和標準（zhǔn）

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部（bù）分項目緊跟的是EN1822標（biāo）準。

IEST規定對於MMD=0.3um的（de）顆粒的整體（tǐ）效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣溶膠下（xià）通過率大（dà）於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局部（bù）穿透率可以是整體的5倍（bèi）這當然是在MPPS 的粒徑考慮之下;
IEST描（miáo）述
針對以上的兩（liǎng）張表格（gé）,分析如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量（liàng）中徑,也就（jiù）是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的（de）質量大（dà）於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質（zhì）量中徑（jìng）在0.3um的氣溶膠群,也就是（shì）氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群體,而絕不是單一粒徑的（de）0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中徑（jìng）,也就（jiù）是有50%的粒子大於這個值.50%的（de）粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占（zhàn）有的數量（liàng）權重雖然小（xiǎo）,但是質量權重（chóng）很大。因此在（zài）IEST上麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的（de）顆粒直徑.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需要對某一種濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試（shì）的（de）。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區間。最後（hòu）用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部（bù）分的最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業（yè）角度而（ér）言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能（néng）保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多（duō）分散。需要注意（yì）的是這個標（biāo）準差（chà）和粒徑大小（xiǎo）沒有（yǒu）直接關係，也就是計算結果和粒徑沒（méi）有關係.因（yīn）此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可（kě）以認為MPPS的粒（lì）徑大小在測試的時候（hòu）不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場（chǎng）測試（shì）的（de）時（shí）候要求測試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要（yào）說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠（chǎng）前需要明確額定濾（lǜ）速是（shì）多（duō）少.

5).對於實際（jì）的MPPS測試,一般要（yào）求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正好（hǎo）落在這個範圍之內,而且（qiě）粒徑的（de）中（zhōng）值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏（piān）差不能超過10%;

2.氣溶（róng）膠發生（shēng）器

氣溶（róng）膠發生器可以分為若幹種,如（rú）熱發（fā）塵和冷發塵,異凝結發（fā）塵和同凝結發塵,在（zài）DPMS的幫助下可以（yǐ）保證有單分散（sàn）相粒徑發出。

壓縮（suō）空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器（qì） 單分（fèn）散相異凝結 1.05

自由噴射凝結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不（bú）穩定

從美國的IEST可以看出他們使用的是（shì）第一種（zhǒng）和第二種,用光（guāng）度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四（sì）種進行測（cè）試，更加合理（lǐ）優（yōu）越。不過問題在於MPPS不可能（néng）直接測量一個粒（lì）徑值。其實是一個範（fàn）圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間的粒子數（shù）量全部加起來作為MPPS的數量考（kǎo）慮應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這（zhè）個範圍的（de）。

根據EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測試效率的時候是不計量（liàng）粒子分（fèn）徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可（kě）以作為上下遊分別的粒（lì）子計數了。但是這裏（lǐ）要注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就（jiù）可以這麽認為（wéi）了。

對於多分散相就不是這麽回事了。因為標準（zhǔn）差（chà）大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數（shù）量。需要注意的（de）是在上下遊收集的時候,在MPPS已（yǐ）經知道的情況下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部（bù）或者部分（fèn）粒子數量即（jí）可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經（jīng）發現MPPS粒子（zǐ）一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範（fàn）圍的最大值與最小值之比為2.5.因（yīn）此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或（huò）者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等（děng）等。所以實際的結果是（shì）大部分廠家或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要（yào）求,最好的測（cè）量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任選一組作為劑量範（fàn）圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計（jì）量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該（gāi）可以（yǐ）在其中三個分段（duàn）裏麵任選一個並且選（xuǎn）擇全（quán）部的粒子或者部（bù）分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實（shí）際的粒子分析儀來。實際的工程結果（guǒ）是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值（zhí）作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說（shuō）明。

3:接收方法

一般有兩種方法。

一種（zhǒng）是用於測定質量濃度的光度計,它（tā）不能計數（shù）。因此可以用在DOP方法測試H13和H14上（shàng）麵特別是在現場的時候；

另外一（yī）種是（shì）用粒子（zǐ）計數器或（huò）者粒徑（jìng）分析（xī）計數器,它既可以測粒徑也可以測數量。不過需要說（shuō）明（míng）的是不能認為它什麽粒徑（jìng）都能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽（me）0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也（yě）能分析的一清二楚. 因此實（shí）際的接（jiē）收（shōu）粒子MPPS是（shì）在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對（duì）於（yú）濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來（lái）的,而不是實際測出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過畫曲（qǔ）線的方法找到最低點MPPS。這種方（fāng）法（fǎ）隻能用單分散相的粒子發生（shēng）器來測試。因此其實找到的不是單一粒（lì）徑,而是一個區間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間（jiān）的粒徑,所以這更加說明了是粒子（zǐ）分（fèn）析隻能測試出某一段粒徑之間而（ér）絕不是細到每（měi）一（yī）粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量（liàng）濃度就可以了,而（ér）對於高要求的U15以上要（yào）求用粒子計數（shù）器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數（shù）據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用（yòng）TFI的冷發塵,由於其屬於多分散（sàn）相，因此其實導致的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場的測試質量濃度比（bǐ）為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項（xiàng）目而言,還是使（shǐ）用H14以（yǐ）上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需要測（cè）試MPPS了,對於測試方法上（shàng）麵已經有說明,總體而言就是（shì）測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全（quán）部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的95%置信區（qū）間的結（jié）果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料（liào）當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾（jǐ）何標準差