泰（tài）安hepa高效過濾器

其實很多人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初（chū）效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是對於高效過濾器的一些特性還是不（bú）太了解的！

比如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低（dī）於99.97%為美國的A級別高效（xiào）過濾器,這句話（huà）的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的（de）H14或（huò）者U15過濾器的測試粒（lì）子的尺寸是什麽？

下麵的內容則是我自（zì）己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳（xiáng）細介紹。

不太懂的就看黑體字（zì）就（jiù）可以（yǐ）了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最早（zǎo）的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續（xù）優化自身規範和標準（zhǔn）

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國國內大部分項目緊跟（gēn）的（de）是EN1822標準。

IEST規定對於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為（wéi）高效;EN1882規定隻要在MPPS的氣（qì）溶膠下通過率大於99.95%的（de）就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖（tú）中可以（yǐ）看到如下信息:EN1882對於局部穿透率（lǜ）可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的（de）粒徑考慮之下;
IEST描述
針（zhēn）對以上的兩張表格（gé）,分析（xī）如下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是（shì）粒子質量中（zhōng）徑,也就是所（suǒ）有的氣溶（róng）膠粒徑分布（bù）當中50%的質量大於這個（gè）值,50%的質量小於這個值.

因此不要認為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是（shì）質量中徑在（zài）0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是單分散相或者多分（fèn）散相（xiàng）的,是一個範圍（wéi）內的氣溶膠群（qún）體,而絕不是單一粒徑的0.3um的氣（qì）溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子（zǐ）尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於這（zhè）個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大（dà）。因此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致（zhì）等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類（lèi）劃入高（gāo）效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到（dào）底（dǐ）是多（duō）少,是需要對某（mǒu）一種（zhǒng）濾料（liào）,比如某一種玻璃纖維做實驗室測（cè）試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發（fā）單[準]分散相或者多（duō）分散相的粒子（zǐ）,布（bù）滿（mǎn）整體的0.1-0.5um的區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計（jì）,絕大部分的最（zuì）易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值（zhí）。從商業角度而言,氣（qì）溶（róng）膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保（bǎo）證為唯一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意（yì）的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關係，也就是計算結果和粒徑沒有關係（xì）.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑（jìng）大小在測（cè）試的時候不是針對某一個粒徑的（de）而是針對一個區間的。這個也就是為什（shí）麽（me）MPPS在實際現場測試的時候要求測（cè）試一個區間範圍內的所有粒子數量總和;同時也要說明的是不同（tóng）的過濾風速下MPPS是不（bú）同的。出廠前需要明確（què）額定濾速是多（duō）少.

5).對於實際的（de）MPPS測試,一般（bān）要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所（suǒ）有粒子總數。這裏所隱含（hán）的（de）條件是氣溶膠的發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應（yīng）該（gāi）正好等（děng）於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不（bú）能超過10%;

2.氣溶膠發生器

氣溶膠發生器（qì）可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和（hé）同凝結發塵,在DPMS的幫助下（xià）可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵（chén） MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散冷（lěng）發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單（dān）分散相異凝結（jié） 1.05

自由噴射（shè）凝結式氣溶（róng）膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散（sàn）電移過濾為（wéi）單分散（sàn）相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看（kàn）出他們使用的是第一種和第二種,用光度（dù）儀測試質（zhì）量濃度比;而歐盟采用後麵四（sì）種進行測試，更加合理優越（yuè）。不過問題在於MPPS不可能直（zhí）接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部（bù）加起來作為MPPS的數量考慮應該是（shì）符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍（wéi）的。

根據EN1822-5的（de）說法,如果是采用單分（fèn）散相粒子在測試效率的時候是不計量粒子（zǐ）分徑的。直接把所有的粒子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計（jì）數（shù）了。但是這裏要注意的是單分散相（xiàng）也不是真正的單分散（sàn）相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散（sàn）相就不（bú）是這麽回事了。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子（zǐ）粒徑分布和數量。需要注意的是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知道的情（qíng）況（kuàng）下,隻需（xū）要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部（bù）或者部分粒子數（shù）量即可。

舉例來說明（míng）:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最小值之比為2.5.因此在（zài）EN1822-5的要求下（xià）,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際（jì）的光學粒子計數器有一個測（cè）量精度（dù）問題。大家知道（dào）的一（yī）般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際（jì）的結果是大部分廠家或者測試方最終的計（jì）數結（jié）果0.1um-0.2um之間的總數作為（wéi）計量基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在（zài）mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求（qiú）在mpps/2-mpps/1.5之間或者在（zài）mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作為劑量範圍.因此實際的測試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三（sān）種情況下進行計量。

考慮到實際的光學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個（gè）並且選擇全部的粒子或者（zhě）部分的粒子（zǐ）。到底怎麽選根據（jù）實際的粒子分析儀來。實際的（de）工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分（fèn）MPPS在0.18um的樣子,因（yīn）此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇（zé）部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多分散粒子測試時候的分析與說明。

3:接收方法

一般（bān）有兩種（zhǒng）方（fāng）法。

一（yī）種是用於測定質量濃度（dù）的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方（fāng）法測試H13和H14上麵特別是在現場（chǎng）的時候；

另外一種是用粒子計數（shù）器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒（lì）徑也可以測數（shù）量。不過需要說明（míng）的是不能認為它什麽粒徑都能測,它一般（bān）隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大（dà）家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的（de）粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾料測試的最低MPPS的點是（shì）曲線找出來的（de）,而不是實際（jì）測（cè）出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑,通過（guò）畫曲線的方法找（zhǎo）到最低點MPPS。這種方法隻能（néng）用（yòng）單分散相的粒子發（fā）生器來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是（shì）一個區間;

並（bìng）且在EN1822-4和EN1822-5裏麵已經要（yào）求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的（de）粒徑（jìng）,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出（chū）某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒（lì）徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質（zhì）量濃度就可以了,而對於高要求的U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那一個數據.但是並不需要（yào）先檢測出MPPS值。

對於現場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使用TFI的冷發（fā）塵,由（yóu）於其屬於多分散相，因此其實導致的結（jié）果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了。因此要求現場（chǎng）的測試質量（liàng）濃度比為99.99%@H13H14是合理的（de）.因（yīn）為這裏的結果已經比0.3um為99.99%在實驗室要求低了。

對於大部分的項目而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試（shì）方法

對於H10以（yǐ）上的就需要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說（shuō）明,總體而（ér）言就是測包含MPPS的一段區間粒徑的數量;

6:對（duì）測試結果的分析

由於現場測試的隻能是（shì）樣本（běn）,而且不可能全部都測.因此實際的結果（guǒ）分析采用了泊鬆分布的95%置信區間的結果。

參考資（zī）料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當中（zhōng）提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間（jiān）/標準差/幾何標準差