同仁hepa高效過濾器

其實很多人對於（yú）高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效F5+中高效F9+末端（duān）的高效（xiào）H14，但是（shì）對於高效過濾器的一些特性還是（shì）不（bú）太了解的（de）！

比（bǐ）如效率為針對0.3um的粒子其濃度不低於99.97%為（wéi）美國的A級別高效過濾器,這句話的詳細意思其實並沒有多少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或（huò）者（zhě）U15過濾（lǜ）器的測試（shì）粒子的尺寸是什麽（me）？

下麵的內容則是（shì）我自己以前整理的一些筆記，針對高效（xiào）過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從（cóng）HEPA高效過濾（lǜ）器效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器（qì）

最早的HEPA 的使用來源於美（měi）國軍方, 為MIT相關標（biāo）準。其後歐（ōu）洲持續優化自身規（guī）範和標（biāo）準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大（dà）標準。中國國內大部分項目緊跟的是EN1822標準。

IEST規（guī）定（dìng）對於MMD=0.3um的顆（kē）粒的整體效率（lǜ）不低於99.97%為高效;EN1882規定（dìng）隻要在MPPS的氣溶膠（jiāo）下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到（dào）如下信息（xī）:EN1882對於局（jú）部穿透率可以是整體的5倍這當然是在MPPS 的粒（lì）徑（jìng）考（kǎo）慮之（zhī）下（xià）;
IEST描述
針對以（yǐ）上的兩（liǎng）張表格,分析如（rú）下:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子（zǐ）質量中徑,也就是所（suǒ）有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於這個值,50%的質量小於這個值.

因此不要認（rèn）為IEST的規定@0.3um >=99.97% 或者@0.3um>=99.99%僅僅是針對0.3um的要求（qiú）.其實（shí）這個規定要求（qiú）的是質量中徑在0.3um的氣溶膠群,也就是氣溶膠是（shì）單分散相（xiàng）或者多（duō）分散相的,是一個範圍內的氣溶膠群體（tǐ）,而絕不是單一粒徑（jìng）的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸中徑,也就是有50%的粒子大於（yú）這個值.50%的粒（lì）子（zǐ）小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大（dà）約（yuē）在0.2um.這（zhè）是因為大顆粒的粒子占有的數量權重雖然小,但是質量權重很大。因（yīn）此在IEST上（shàng）麵說99.97%@0.3um其實大致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑（jìng）.這裏也僅僅是類似，不能完（wán）全等同。

3).新版（bǎn）的EN1822-2009把以前的E10 E11 E12均（jun1）作為HEPA的分類劃入高效係（xì）列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底（dǐ）是（shì）多少,是（shì）需（xū）要對某一種（zhǒng）濾料,比如（rú）某一種玻璃纖維做實驗室測試的（de）。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的區（qū）間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的（de）最易穿透的粒子粒徑在0.1um-0.25um之間的某一個值。從商業角度而言,氣溶膠發生器或者LASKIN噴嘴噴出的氣溶膠粒（lì）徑不可能保證為唯一（yī）粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準（zhǔn）差和粒徑大小沒有直接關係，也就（jiù）是計算結果和粒徑沒有關係（xì）.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒徑大小在測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針對一個區間的。這個也就是為什麽MPPS在實際現場測試的時候（hòu）要求測試一個區間範圍內的所有（yǒu）粒子數量總（zǒng）和;同（tóng）時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對於實際的MPPS測試,一般要求收集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這（zhè）裏所（suǒ）隱含的條（tiáo）件是氣溶膠的（de）發塵應該正好落在這個範圍之內,而且粒徑的中值CMD應該正好等於MPPS[理想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠（jiāo）發生器

氣溶膠發生器可以（yǐ）分為若幹種,如熱發塵和（hé）冷發塵（chén）,異凝結（jié）發塵和（hé）同凝結（jié）發塵,在DPMS的（de）幫助下可以（yǐ）保證（zhèng）有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分（fèn）散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多分散（sàn）冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器（qì） 單分散相異凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分（fèn）散相異（yì）凝結 1.05

自由噴（pēn）射凝結式氣溶膠發（fā）生器 準單分散（sàn）相自（zì）凝結 σ=1.5

氣溶（róng）膠發塵+DPMS 多分（fèn）散（sàn）電移過濾為單分散相 σ=1.1不穩定

從（cóng）美（měi）國的IEST可以看出他們使用的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而（ér）歐盟采用後麵四種進行測試，更加合理優越。不過問題在於MPPS不可能直接測量一個粒徑值。其實是一個範圍。很多工廠直接（jiē）把0.1-0.2um之間的粒子數量全部加起來作為MPPS的數（shù）量考慮應該是符（fú）合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據EN1822-5的說法,如果是（shì）采用（yòng）單分散相粒子在測試效率的時候（hòu）是不計量粒（lì）子分徑的。直接把所有的粒（lì）子數量加在一起就可以作為上下遊分別的粒子計數了。但是這裏（lǐ）要（yào）注意的是單分散相也不是真正的單分散相還是有各種（zhǒng）粒徑分布的。隻要標準差小於1.5就可以這麽認為了。

對於多分散相就不是這（zhè）麽回事了（le）。因為標準差大於1.5，因此在進行測試的時候要求同時測粒子粒徑分布和數量。需要注（zhù）意的是在上（shàng）下遊收集的時候,在MPPS已經知道（dào）的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的全部（bù）或者部分（fèn）粒子數量即可。

舉例來說明:現在EN已經發現MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間。這個範圍的最大值與最（zuì）小值之比為2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍（wéi）或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的（de）一般（bān）是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以（yǐ）實際的（de）結果是大部分廠家或（huò）者測試方最終的計數結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量基礎。

根據EN1822要求,最好（hǎo）的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但是規範也可以要求在（zài）mpps/2-mpps/1.5之間或（huò）者在mpps*1.5-mpps*2的分（fèn）段上任（rèn）選一組作為劑（jì）量範圍.因此實際的測試可以在（zài）

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情況下進行計量。

考慮到實際的光（guāng）學粒子分析儀,應該可以在其中三個分段裏麵任選一個並（bìng）且選擇全部的粒子或者部分（fèn）的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分（fèn）析儀來。實際的工（gōng）程結果是選擇0.1-0.2um之間（jiān）的。因為大部分MPPS在0.18um的樣子,因此采用第二種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分（fèn）也（yě）就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以（yǐ）上是對多分散（sàn）粒子（zǐ）測試（shì）時（shí）候的分析與說明。

3:接收方法

一般有（yǒu）兩（liǎng）種方法。

一種是用於測（cè）定質量濃度的光度計,它不能計數。因此可以用在DOP方法（fǎ）測（cè）試H13和H14上麵特別是在現場的時候；

另外一種是用粒子計數器或者粒徑分析計數器,它既可以測粒（lì）徑也可（kě）以（yǐ）測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都能測（cè）,它（tā）一般隻能分段測粒徑。比（bǐ）如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這樣的粒徑（jìng）也能分析的一清二楚（chǔ）. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於（yú）濾料測試的最低MPPS的點是曲線找出來的,而（ér）不是實（shí）際測（cè）出來的。規定要求測至少六種不同的粒徑（jìng）,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子發生器來測試。因此其實找到的不是（shì）單一粒徑,而是一個區（qū）間;

並且在EN1822-4和EN1822-5裏麵（miàn）已經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以這更加說明了是粒子分析隻能測試出某一段粒徑之間而絕不是細到每一粒徑（jìng）的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對（duì）於其測試質量濃度就可以了,而對於高要求（qiú）的U15以上要求用粒子計數器,並（bìng）且直（zhí）接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的（de）更加不利的（de）那一個數據.但是並不需要先檢測出MPPS值。

對於（yú）現（xiàn）場中的DOP檢測,很多公（gōng）司使（shǐ）用TFI的冷（lěng）發塵,由於其屬於多（duō）分散相，因此其實導致的結果（guǒ）就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經大於0.3um的要求了（le）。因此要求（qiú）現場的測試質量濃度比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比（bǐ）0.3um為99.99%在實驗（yàn）室要求低了。

對於大（dà）部分的（de）項目而言,還是使用H14以（yǐ）上的高效（xiào）比較（jiào）保險。

5. EN1822測試方法

對於H10以上的就需（xū）要測試MPPS了,對於測試方法上麵已經有說明,總體而（ér）言就是測包含MPPS的一段區間粒（lì）徑（jìng）的數量;

6:對測試結果的（de）分析（xī）

由於現場測試的隻能是樣本,而且不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布的（de）95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資（zī）料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標準差