鷹（yīng）潭hepa高效過濾器

其實（shí）很多（duō）人對於高效過濾器的了解還是停留在表麵上的，

比如隻知道潔淨室要安裝初效G4+中效（xiào）F5+中高效F9+末端的高效H14，但是（shì）對於高效過（guò）濾器（qì）的一（yī）些特性還是不太了解的！

比如效（xiào）率為針對0.3um的粒子其濃度不（bú）低於99.97%為美國的（de）A級別高效過（guò）濾器,這句話的詳（xiáng）細意思其實並沒有多（duō）少人思考！

比如MPPS方法介紹的H14或者U15過濾器（qì）的測試粒子的尺寸是什麽？

下麵的內（nèi）容則是我自己以前整理的一些筆記，針對高效過濾器的一些詳細介紹。

不太懂的就看黑體字就可以了！！！！

1.從HEPA高效（xiào）過濾（lǜ）器（qì）效率說起

HEPA—high efficiency particulate air為高效過濾器

最（zuì）早的HEPA 的使用來源於美國軍方, 為MIT相關標準。其後歐洲持續（xù）優化自身規範和標準

目前國家上通行的是IEST-RP/EN1882/ ISO14644三大標準。中國（guó）國內大部分項目緊跟的是EN1822標準（zhǔn）。

IEST規定對（duì）於MMD=0.3um的顆粒的整體效率不低於99.97%為高效;EN1882規定隻（zhī）要在MPPS的氣溶膠下通過率大於99.95%的就可以,也就是H13以上;
EN1822
從圖中可以看到如下信息:EN1882對於局部穿透率可以是整體的5倍這（zhè）當（dāng）然是在MPPS 的粒徑考慮之下（xià）;
IEST描述
針對以上的兩張表格,分析如下（xià）:

1).IEST中的MMD-Mass Median Diameter指的是粒子質量中徑（jìng）,也就是所有的氣溶膠粒徑分布當中50%的質量大於（yú）這個值,50%的質量小於這（zhè）個值（zhí）.

因此不要認為（wéi）IEST的規定（dìng）@0.3um >=99.97% 或（huò）者@0.3um>=99.99%僅（jǐn）僅是針對0.3um的要求.其實這個規定要求的是質量中徑在（zài）0.3um的氣（qì）溶膠群,也（yě）就是氣溶膠是單分散相或者多分散相的,是一個範圍內的氣（qì）溶膠群體,而絕不是（shì）單一粒徑的0.3um的氣溶膠;

2).CMD-Count of number Median Diameter指的是粒子尺寸（cùn）中（zhōng）徑,也就是有50%的（de）粒子（zǐ）大（dà）於這個值.50%的粒子小於這個值。MMD=0.3um的顆粒們其實它們的CMD大約在0.2um.這是因為大顆粒的粒子占有（yǒu）的（de）數量權重（chóng）雖然小,但（dàn）是質量權（quán）重很大（dà）。因此在IEST上麵說99.97%@0.3um其實大（dà）致等同於EN1882的MPPS的顆粒直徑.這裏（lǐ）也僅僅是類似，不能完全等同。

3).新版的EN1822-2009把以（yǐ）前的E10 E11 E12均作為HEPA的分類劃入高效係列,不同於以前的EN1822-2000;

4).MPPS到底是多少,是需（xū）要對某一種濾料,比如某一種玻璃纖維做實驗室測試的。需要至少做5次重複試驗。每次試驗均要發單[準]分散相或（huò）者多分散相的粒子,布滿整體的0.1-0.5um的（de）區間。最後用曲線做出來最低點。根據現在EN1822的統計,絕大部分的最易（yì）穿透的粒子粒（lì）徑在0.1um-0.25um之（zhī）間的某一（yī）個值。從商業角度而（ér）言（yán）,氣溶膠發生器或者LASKIN噴（pēn）嘴噴出的氣溶膠粒徑不可能保證為唯（wéi）一粒徑粒子,從標準差而言.σ1.5為多分散。需要注意的是這個標準差和粒徑大小沒有直接關（guān）係，也就是計算結果和（hé）粒徑沒有關係.因此草莓秋葵菠萝蜜黄瓜榴莲视频可以認為MPPS的粒（lì）徑大小在（zài）測試的時候不是針對某一個粒徑的而是針（zhēn）對一個（gè）區間的。這（zhè）個（gè）也就（jiù）是為什麽MPPS在實際現場測試的時候要求測試一個區間範圍（wéi）內的所有（yǒu）粒子數量（liàng）總和;同時也要說明的是不同的過濾風速下MPPS是不同的。出廠前需要明確額定濾速是多少.

5).對（duì）於實際的（de）MPPS測試,一（yī）般要求（qiú）收（shōu）集MPPS/1.5---MPPS*1.5範圍之內的所有粒子總數。這裏所隱含的條件是氣溶（róng）膠的發塵應該（gāi）正好落在這（zhè）個範圍之內,而且粒（lì）徑（jìng）的中值CMD應該正好等於MPPS[理（lǐ）想化],EN1822規定偏差不能超過10%;

2.氣溶膠發（fā）生器

氣溶膠發生器可以分為若幹種,如熱發塵和冷發塵,異凝結發塵和同凝結發塵,在DPMS的幫助下可以保證有單分散相粒徑發出。

壓縮空氣多分散熱發塵 MMD=0.3UM CMD=0.2UM

空氣多（duō）分散冷發塵 MMD=0.6UM CMD=0.4UM

Sinclair-LaMer 氣溶膠發生器 單分散相（xiàng）異（yì）凝結 1.05

Rapaport-Weinstork 發生器 單分散相異凝結 1.05

自由噴射凝（níng）結式氣溶膠發生器 準單分散相自凝結 σ=1.5

氣溶膠發塵+DPMS 多分散電移過濾為單（dān）分散相 σ=1.1不穩定

從美國的IEST可以看出他們使用（yòng）的是第一種和第二種,用光度儀測試質量濃度比;而歐盟采用後麵四種進行測試，更加合（hé）理優越。不過問題（tí）在於MPPS不（bú）可（kě）能直（zhí）接測量一個粒徑（jìng）值。其實是（shì）一個範圍。很多工廠直接把0.1-0.2um之間（jiān）的（de）粒子數量全部加起來作為MPPS的數量考慮（lǜ）應該是符合MPPS/1.5—MPPS*1.5這個範圍的。

根據（jù）EN1822-5的說法,如果是采用單分散相粒子在測（cè）試效率的時候是不計量粒子分徑的。直接把所有（yǒu）的粒子數量加在一起就（jiù）可以作為上下（xià）遊分別的粒子計數了。但是這裏要注意的是單分散相也不是真（zhēn）正的（de）單分散相還是有各種（zhǒng）粒徑分（fèn）布的。隻要標準（zhǔn）差小（xiǎo）於1.5就可以這麽認為了。

對於（yú）多分散相就不是這麽回事了。因（yīn）為標準差大於1.5，因此在（zài）進（jìn）行測試的（de）時候要求（qiú）同時測粒子粒徑分布和數量（liàng）。需要注意的（de）是在上下遊收集的時候,在MPPS已經知（zhī）道的情況下,隻需要測量MPPS/2-MPPS*2分段裏麵的（de）全部或（huò）者部分粒子數量即可。

舉例來說明:現（xiàn）在（zài）EN已經發現（xiàn）MPPS粒子一般坐落於0.1um-0.25um之間（jiān）。這個範圍的最大值與最小值之比為（wéi）2.5.因此在EN1822-5的要求下,最好取MPPS/2-MPPS*2的全部範圍或者部分。這是因為實際的光學粒子計數器有一個測量精度問題。大家知道的一般是測量分段為0.1um 0.2um 0.3um 0.5um等等。所以實際的結果是大部（bù）分廠家或者測（cè）試方最終的計數（shù）結果0.1um-0.2um之間的總數作為計量（liàng）基礎。

根據EN1822要求,最好的測量範圍在mpps/1.5-mpps*1.5之間。但（dàn）是（shì）規範也可以要求在mpps/2-mpps/1.5之間或者在mpps*1.5-mpps*2的分段上任選一組作（zuò）為劑量範圍.因（yīn）此實際的測（cè）試可以在

MPPS/1.5-MPPS*1.5

MPPS/2-MPPS*1.5

MPPS/1.5-MPPS*2

這三種情（qíng）況下進行計量。

考慮到實際的光學（xué）粒子分析（xī）儀,應該可以在其中三個分段裏麵任（rèn）選一個（gè）並且選擇全（quán）部的（de）粒子或者部分的粒子。到底怎麽選根據實際的粒子分析儀來。實（shí）際（jì）的工程結果是選擇0.1-0.2um之間的。因為大部分MPPS在（zài）0.18um的樣子,因此采用第二（èr）種分段發可以在0.09um-0.27um之間選擇部分也就是0.1um-0.2um之間的值作為劑量標準。

以上是對多（duō）分散粒子測試（shì）時候的分析與說明。

3:接收方法

一般有兩種方法（fǎ）。

一種是用於測定質量（liàng）濃度的光度計,它不能計數。因此可（kě）以用在DOP方法測試H13和（hé）H14上（shàng）麵特別是在（zài）現（xiàn）場的時候；

另外一種是用粒子（zǐ）計數器或者粒徑分析計（jì）數器,它既（jì）可以測粒徑也（yě）可以測數量。不過需要說明的是不能認為它什麽粒徑都（dōu）能測,它一般隻能分段測粒徑。比如0.1um 0.2um 0.3um 0.5um,而不是大家想象的什麽0.111um,0.157um,0.18um這（zhè）樣的粒徑也能分析的一清二楚. 因此實際的接收粒子MPPS是在一段粒徑之間的。上麵已經說過了。

這是因為EN1822-3對於濾（lǜ）料測試的最低MPPS的點是曲（qǔ）線找出（chū）來的,而不是實際測出來的。規定要求測（cè）至（zhì）少六種不同的粒徑,通過畫曲線的方法找到最低點MPPS。這種方法隻能用單分散相的粒子（zǐ）發（fā）生器（qì）來測試。因此其實找到的不是單一粒徑,而是一個區間;

並且在（zài）EN1822-4和EN1822-5裏麵已（yǐ）經要求了MPPS/1.5—MPPS*1.5之間的粒徑,所以（yǐ）這更加（jiā）說明了是（shì）粒子分析隻能測試出某（mǒu）一段粒徑之間而（ér）絕不是細到每一粒徑的;

4. IEST的測試方法

對於H13和H14,IEST要求對於（yú）其測試質量濃度就可以了,而（ér）對於高要求的（de）U15以上要求用粒子計數器,並且直接讀取0.1um-0.2um或者0.2um-0.3um兩組中的更加不利的那（nà）一個（gè）數據.但是（shì）並不需（xū）要先檢測出（chū）MPPS值。

對於現場中的DOP檢（jiǎn）測,很多公司使用TFI的冷發塵,由於其屬於多分散相，因此其實導致（zhì）的結果就是CMD在0.4um,MMD在0.7um,已經（jīng）大於0.3um的要求了。因（yīn）此（cǐ）要求現場的測（cè）試質量濃（nóng）度（dù）比為99.99%@H13H14是合理的.因為這裏的結果已經比0.3um為（wéi）99.99%在實（shí）驗室要求低了。

對於大部分的（de）項目（mù）而言,還是使用H14以上的高效比較保險。

5. EN1822測試方法（fǎ）

對於H10以上（shàng）的就需要測試MPPS了,對於測（cè）試（shì）方法上麵已經有說明,總（zǒng）體而言就是測包含MPPS的一（yī）段區間粒（lì）徑的數量;

6:對測試結果的分析

由於現場測試的隻能是樣本,而且（qiě）不可能全部都測.因此實際的結果分析采用了泊鬆分布（bù）的95%置信區間的結果。

參考資料

IEST-RP-CC001.4/EN1822-1/EN1822-2/EN1822-3/EN1822-4/EN1822-5/ISO14644-1/ISO14644-3/ISO14644-4並且在資料當（dāng）中提到了統計學相關知識,包括泊鬆分布/95%置信區間/標準差/幾何標（biāo）準差